Свободный доступ
Ограниченный доступ
Автор: Сагбиев И. Р.
КГТУ
В работе представлены результаты модификации поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий.
Исследовалась зависимость результатов ВЧ плазменной
модификации поверхности материалов от входных параметров
плазмотрона, основных параметров обработки – энергии ионов и
плотности ионного тока в СПЗ, а также степени термической
неравновесности. Установлено, что плазменная модификация поверхности
пленок позволяет улучшить их электрофизические и физико-
механические свойства, а также уменьшать неровности их
поверхности и увеличивать срок службы покрытий в 2 раза.
Предпросмотр: ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. Препринт.pdf (0,1 Мб)
Автор: Сагбиев И. Р.
КГТУ
Представлены результаты исследований изменения поверхностных нанослоев и влияния этих изменений на физико-механические, физико-химические свойства и структуру металлов при обработке их с помощью ВЧ разрядов пониженного давления. Установлены закономерности ВЧ
плазменной модификации поверхности при низких давлениях
для металлов и их сплавов.
Предпросмотр: ВЧ плазменная модификация поверхностных слоев металлов. Препринт.pdf (0,1 Мб)
Автор: Фомина М. Г.
КГТУ
Написано в соответствии с действующей программой дисциплины СД.03.02 «Монтаж, испытания и эксплуатация вакуумного оборудования» специализации 150801-02 «Вакуумные машины и установки». Рассмотрены основные положения системы испытаний продукции вакуумного машиностроения. Представлены основные методы испытаний вакуумного оборудования.
Предпросмотр: Испытания вакуумного оборудования. Учебное пособие.pdf (0,1 Мб)