Предназначено для студентов всех форм обучения специальности «Вакуумная и компрессорная техника физических установок». <...> Подготовлено на кафедре «Вакуумная техника электрофизических установок». <...> Сафиуллин © Казанский государственный технологический университет, 2006 г. 2 Данное пособие содержит отдельные разделы курса лекций по дисциплине «Монтаж, испытания и эксплуатация вакуумного оборудования», включенной в учебный план специализации 150801-02 «Вакуумные машины и установки» (специальность «Вакуумная и компрессорная техника физических установок»). <...> Здесь представлена основная часть содержания данной дисциплины - «Испытания вакуумного оборудования», включающая испытания на основные вакуумные параметры: полное и парциальное давление, быстрота действия, контроль герметичности, обратный поток паров вакуумных рабочих жидкостей. <...> Две главы посвящены методам градуировки средств измерений – вакуумметров и потокомеров. <...> Конструктивные показатели назначения характеризуют взаимозаменяемость, агрегатирование, габаритные и присоединительные размеры (например, агрегат на базе диффузионного насоса, диаметр условного прохода насоса и т.п.) <...> Основными элементами процесса контроля является объект испытаний, средства и метод испытаний, исполнитель, нормативно-техническая документация на проведение испытаний. <...> В качестве объекта испытаний может выступать опытный образец, для которого оценивают его работоспособность, правильность конструкторского решения, определяют возможные характеристики, выясняют закономерности и тенденции изменения параметров. <...> Цель определительных испытаний – нахождение значений одной или нескольких величин с заданной точностью и достоверностью. <...> По результату воздействия, как и в методах контроля, испытания могут быть: неразрушающие – объект испытания после проведения испытаний может функционировать; разрушающие – объект после проведения испытаний не может быть <...>
Испытания_вакуумного_оборудования._Учебное_пособие.pdf
ББК 31.77
УДК 621.52
Испытания вакуумного оборудования: Учебное пособие/
М.Г.Фомина; Казан.гос.технол.ун-т. Казань, 2006. 136 с.
Написано в соответствии с действующей программой
дисциплины СД.03.02 «Монтаж, испытания и эксплуатация
вакуумного оборудования» специализации 150801-02 «Вакуумные
машины и установки». Рассмотрены основные положения системы
испытаний продукции вакуумного машиностроения. Представлены
основные методы испытаний вакуумного оборудования.
Предназначено для студентов всех форм обучения специальности
«Вакуумная и компрессорная техника физических установок».
Подготовлено на кафедре «Вакуумная техника электрофизических
установок».
Табл.5. Ил.59. Библиогр.: 30 назв.
Печатается по решению редакционно-издательского совета
Казанского государственного технологического университета
Рецензенты: д-р техн.наук, проф.К.Х.Гильфанов
канд.техн.наук, доц.АГ.Сафиуллин
© Казанский государственный
технологический университет, 2006 г.
2
Стр.2
Содержание
1. Методологические и нормативно-технические
основы испытаний
2. Методы измерения давлений
2.1. Перечень проверяемых параметров
2.2. Приборы для измерения полных давлений
2.3. Методы измерения полных давлений
2.3.1. Метод кривой набора вакуума
2.3.2. Метод кривой противодавления
2.3.3. Метод кривой натекания
2.3.4. Определение наибольшего рабочего давления
вакуумного насоса
3. Методы измерения расхода (потока) газов
3.1. Термины и определения
3.2. Метрологический анализ уравнения потока
3.3. Выбор методов измерения расхода (потока) газа
3.4. Классификация методов измерения расхода
3.4.1. Метод диафрагмы
3.4.2. Метод потокомера с бюреткой
3.4.3. Метод газового счетчика
3.4.4. Метод ротаметра
3.4.5. Метод расходомера переменного перепада давлений
4. Контроль герметичности вакуумного оборудования
4.1. Введение
4.2.Масс-спектрометрический метод
4.2.1.Типовой состав масс-спектрометрического течеискателя
4.2.2. Конструкции промышленных течеискателей
4.2.3. Способы контроля герметичности
4.3. Вакуумметрический (манометрический) метод
4.4. Галогенный метод
5. Анализ состава остаточного газа
5.1. Анализ состава остаточного газа с помощью массспектрометров
134
4
19
19
21
21
21
29
32
35
35
35
36
36
37
38
41
44
45
46
47
47
54
54
61
65
78
83
85
86
Стр.134
5.2. Десорбционная масс-спектрометрия
6. Обратный поток ВРЖ в откачиваемый объем
6.1. Источники обратного потока из диффузионного насоса
6.2. Методы измерения обратного потока
6.3. Турбомолекулярный насос со смазываемыми
подшипниками как источник паров ВРЖ
6.4. Вакуумный насос с масляным уплотнением
как источник паров ВРЖ
7. Методы испытаний на надежность и климатические испытания
8. Методы градуировки вакуумметров
8.1. Метод непосредственного сличения
показаний с показаниями образцового прибора
8.2. Экспансионный метод
8.3. Редукционные методы
8.3.1. Метод потоков
8.3.2. Метод диафрагмы (метод переменной проводимости)
9. Методы градуировки потокомеров и мер потока
9.1. Жидкостно-механический метод градуировки
потокомеров
9.2. Редуктометрический метод градуировки мер потока
Библиографический список
Приложение 2. Рекомендуемые нормы погрешности
или классы точности средств измерений
91
93
94
100
103
104
105
116
117
118
120
120
121
123
123
125
126
Приложение 1. Типовые формы документов, оформляемых в
процессе испытаний и приемки
130
133
135
Стр.135