ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий (90,00 руб.)

Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Казанский государственный технологический университет» Сагбиев И. Р. <...> ВЧ ПЛАЗМЕННАЯ МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ И ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ препринт Казань КГТУ 2007 УДК 621.7 И.Р. Сагбиев. <...> ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. <...> В работе представлены результаты модификации поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. <...> Исследовалась зависимость результатов ВЧ плазменной модификации поверхности материалов от входных параметров плазмотрона, основных параметров обработки – энергии ионов и плотности ионного тока в СПЗ, а также степени термической неравновесности. <...> Установлено, что плазменная модификация поверхности пленок позволяет улучшить их электрофизические и физикомеханические свойства, а также уменьшать неровности их поверхности и увеличивать срок службы покрытий в 2 раза. <...> М.С.Пешкова © И.Р. Сагбиев,2007 © Казанский государственный технологический университет,2007 ВЧ ПЛАЗМЕННАЯ МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ И ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В работе представлены результаты модификации таких диэлектриков, как поликор, ситалл, сапфир, стекла различных марок (KB, K8, силикатные), кварц, пирекс, галлийгадолиниевый гранат, искусственный алмаз, полиэтилен. <...> Порошки искусственного алмаза применяются для изготовления инструмента (алмазированные медицинские алмазированного боры, алмазированный обрабатывающий инструмент, специальный инструмент для алмазного полирования). <...> Материалы и методики исследования взаимодействия плазмы Обработка материалов проводилась на установке, описанной в [1]. <...> Характеристики плазменного воздействия определяли по методикам, представленным в работе [1]. <...> Эффективность очистки порошка искусственного алмаза контролировалась с <...>