Экономика - политика - культура Теоретическая и математическая физика Теоретические основы химической технологии* Теория вероятностей и ее применение Теплофизика высоких температур* Труды Математического института имени В.А. Стеклова* Успехи математических наук Успехи современной биологии Успехи физиологических наук Физика Земли* Физика и техника полупроводников* Физика и химия стекла* Физика металлов и металловедение* Физика плазмы* Физика твердого тела* Физикохимия поверхности и защита материалов* Физиология растений* Физиология человека* Функциональный анализ и его применение Химическая физика* Химия высоких энергий* Химия твердого топлива* Цитология* Человек Экология* Экономика и математические методы Электрохимия* Энергия, экономика, техника, экология Этнографическое обозрение Энтомологическое обозрение* Ядерная физика* * Материалы журнала издаются группой Pleiades Publishing на английском языке http://www.naukaran.com 45 ЛЕТ ЖУРНАЛУ “НАУК А” МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Том 46, Номер 1 Январь - Февраль 2017 ISSN 0544-1269 ISSN 0544-1269 Микроэлектроника, 2017, том 46, № 1 СОДЕРЖАНИЕ Том 46, номер 1, 2017 ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ Легирование углеродных нанотрубок А. Н. Сауров, С. В. Булярский Моделирование эмиссионных процессов углеродных нанотрубок А. В. Лакалин, А. А. Павлов, А. А. Шаманаев Прямое преобразование энергии β-распада в электрическую С. В. Булярский, А. В. Лакалин, И. Е. Абанин, В. В. Амеличев, В. Д. Рисованый, В. В. Светухин, Б. В. Иванов, И. Г. Лисина Исследование текстурированных пленок нитрида алюминия, полученных методом газофазного химического осаждения А. Н. Редькин, М. В. Рыжова, Е. Е. Якимов, Д. В. Рощупкин Двухракурсная томография низкотемпературной плазмы А. В. Фадеев, К. В. Руденко ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Исследование процессов плазмохимического травления фоторезиста с помощью in situ оптического мониторинга П. В. Волков, С. В. Зеленцов, С. А. Королёв, А. Ю. Лукьянов, А. И. Охапкин, А. Н. Тропанова СХЕМОТЕХНИКА Сравнительный <...>
Микроэлектроника_№1_2017.pdf
СОДЕРЖАНИЕ
Том 46, номер 1, 2017
ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Легирование углеродных нанотрубок
А. Н. Сауров, С. В. Булярский
Моделирование эмиссионных процессов углеродных нанотрубок
А. В. Лакалин, А. А. Павлов, А. А. Шаманаев
Прямое преобразование энергии β-распада в электрическую
С. В. Булярский, А. В. Лакалин, И. Е. Абанин, В. В. Амеличев,
В. Д. Рисованый, В. В. Светухин, Б. В. Иванов, И. Г. Лисина
Исследование текстурированных пленок нитрида алюминия,
полученных методом газофазного химического осаждения
А. Н. Редькин, М. В. Рыжова, Е. Е. Якимов, Д. В. Рощупкин
Двухракурсная томография низкотемпературной плазмы
А. В. Фадеев, К. В. Руденко
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
Исследование процессов плазмохимического травления фоторезиста
с помощью in situ оптического мониторинга
П. В. Волков, С. В. Зеленцов, С. А. Королёв, А. Ю. Лукьянов,
А. И. Охапкин, А. Н. Тропанова
СХЕМОТЕХНИКА
Сравнительный анализ КМОП-схем шифраторов термометрического кода
в прямой двоичный код для параллельных АЦП в интегральном исполнении
М. М. Пилипко, Д. В. Морозов, Д. О. Буданов
Измерение размеров элементов микросхем с ширинами меньше 100 нм
методом дефокусировки зонда РЭМ
Ю. А. Новиков
Разработка маршрута проектирования многопортовых регистровых файлов,
включающего библиотеку элементов и компилятора на ее основе
для технологии КНИ 0.25 мкм
П. Г. Кириченко, И. В Тарасов
72
61
50
44
30
34
21
3
14
Стр.3