34–43 ТЕХНОЛОГИИ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.382 ДВУХРАКУРСНАЯ ТОМОГРАФИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ © 2017 г. А. <...> Руденко1, 2 1Физико-технологический институт Российской АН, Россия, 117218, г. Москва, Нахимовский проспект, 36/1 2Московский физико-технический институт (ГУ) “МФТИ”, Россия 141701, Московская облаcть, г. Долгопрудный, Институтский пер., 9 E-mail: AlexVFadeev@gmail.com, rudenko@ftian.ru Поступила в редакцию 06.06.2016 г. Эмиссионная томография является перспективным методом диагностики латеральной однородности компонентов плазмы. <...> Однако технологические особенности реакторов микроэлектроники позволяют использовать строго лимитированное количество ракурсов, что пагубно сказывается на качестве реконструкции. <...> Предложенная нами ранее модель локальных неоднородностей (МЛН) позволяет разрешить трудности диагностики латеральной однородности компонентов низкотемпературной плазмы при двухракурсной веерной схеме сканирования. <...> В представленной работе модель дополнена учетом дополнительного фактора, влияющего на точность томографической реконструкции, а именно, – зависимость интенсивности излучения, которое регистрируется оптическим ракурсным датчиком, от расстояния до излучающей частицы плазмы. <...> Учет проведен для томографической реконструкции методом максимума энтропии, являющимся для МЛН базовым. <...> DOI: 10.7868/S0544126917010033 ВВЕДЕНИЕ Плазменные технологии, наряду с литографией, являются ключевыми при изготовлении интегральных схем (ИС) [1]. <...> Уменьшение минимальных размеров элементов ИС приводит к постоянному росту требований накладываемых на латеральную однородность компонентов плазмы. <...> Поэтому развитие новых невозмущающих методов диагностики латеральной однородности плазмы, адаптированных к технологическим реакторам микро- и наноэлектроники, является ключевой задачей на этапах как создания плазменного оборудования, так и дизайна технологических процессов. <...> В связи с этим, активно развиваются томографические <...>