61–71 СХЕМОТЕХНИКА УДК 519.876.5537.533 ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ С ШИРИНАМИ МЕНЬШЕ 100 нм МЕТОДОМ ДЕФОКУСИРОВКИ ЗОНДА РЭМ © 2017 г. Ю. А. Новиков Институт общей физики им. <...> Вавилова, 38 Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Россия, 115409, г. Москва, Каширское шоссе, 31 E-mail: nya@kapella.gpi.ru Поступила в редакцию 24.03.2016 г. Используя виртуальный растровый электронный микроскоп, осуществлена проверка метода измерения на РЭМ размеров элементов микросхем с помощью дефокусировки зонда РЭМ. <...> Метод основан на выборе на сигналах РЭМ точек, характеризующих особенности формы сигналов, и определении зависимостей расстояний между этими точками от фокусировки зонда РЭМ. <...> Экстраполяция полученных зависимостей к нулевому размеру зонда определяет ширину выступов и канавок с трапециевидными профилями на уровне нижнего основания трапеции. <...> Это обусловлено большим выбором серийных растровых электронных микроскопов (РЭМ), обладающих необходимыми для наноэлектроники параметрами, созданием для РЭМ системы передачи размера от Первичного эталона длины – метра, в нанодиапазон [4, 5], разработкой методов калибровки РЭМ [6–9], доведенных до создания российских национальных стандартов (ГОСТ Р) [10, 11], и малым временем проведения самого измерения на РЭМ. <...> В то же время критические (минимальные) размеры элементов современных микросхем уже составляют 14 нм и будут уменьшаться в дальнейшем. <...> 61 Главным из таких вопросов является вопрос о том, какой размер трапециевидного профиля измеряется этим методом. <...> Создание виртуального растрового электронного микроскопа (ВРЭМ) [15–19] дало возможность решить эту проблему. <...> Настоящая работа представляет метод дефокусировки зонда РЭМ, его физическое обоснование и решение главного вопроса, какой размер трапециевидного профиля рельефной структуры измеряется методом дефокусировки зонда РЭМ. <...> 1 приведены схемы сигналов РЭМ, полученных при сканировании выступов (рис. <...> 1б) с трапециевидным <...>