Нано- и микросистемная техника №1 2026 (7700,00 руб.)

Стр.3

Стр.4

== Том 28. № 1  2026 МЕЖДИСЦИПЛИНАРНЫЙ ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ И ПРИКЛАДНОЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ Журнал включен в международные базы данных на платформе Web of Science: Chemical Abstracts Service (CAS), которая входит в Medline, и Russian Science Citation Index (RSCI). Журнал включен в Перечень научных и научнотехнических изданий ВАК России по научным специальностям 1.3.11. — Физика полупроводников (физ.мат., техн.), 2.2.2. — Электронная компонентная база микро и наноэлектроники, квантовых устройств (физ.мат., техн.). Журнал индексируется в системе Российского индекса научного цитирования (РИНЦ) и включен в международную базу INSPEC. Журнал выпускается пpи научнометодическом руководстве Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук Статьи имеют DOI 2.2.3. — Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники (техн.), 2.2.9. — Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры (техн.), 1.4.15. — Химия твердого тела (хим., техн., физ.мат.). ISSN 1813-8586 DOI: 10.17587/issn1813-8586 Издается с 1999 г. Главный pедактоp Маëüöев П. П., ä.т.н., проф. Зам. гл. pедактоpа Хасанов О. Л., ä.т.н., проф. Шур М., ä.ф.-ì.н., проф. (США) Редакционный совет: Сиãов А. С., ä.ф.-ì.н., проф., акаä. РАН (преäсеäатеëü) Асеев А. Л., ä.ф.-ì.н., проф., акаä. РАН Горнев Е. С., ä.т.н., проф., акаä. РАН Куëü÷ин Ю. Н., ä.ф.-ì.н., проф., акаä. РАН Лабунов В. А., ä.т.н., проф., акаä. НАНБ (Беëарусü) Нарайкин О. С., ä.т.н., проф., ÷ë.-кор. РАН Рыжий В. И., ä.ф.-ì.н., проф., ÷ë.-кор. РАН Сауров А. Н., ä.т.н., проф., акаä. РАН Чапëыãин Ю. А., ä.т.н., проф., акаä. РАН Шев÷енко В. Я., ä.х.н., проф., акаä. РАН Редакционная коллегия: Абраìов И. И., ä.ф.-ì.н., проф. (Беëарусü) Анäреев А., к.ф.-ì.н. (Веëикобритания) Астахов М. В., ä.х.н., проф. Бакëанов М. Р., ä.х.н., проф. (Китай) Басаев А. С., к.ф.-ì.н. Васиëüев А. А., ä.т.н. Викуëин В. В., к.х.н., ä.т.н., проф. Дайнеко А. В., к.ф.-ì.н. Карякин А. А., ä.х.н., проф. Корëяков А. В., ä.т.н., проф. Кузнеöов Е. В., ä.т.н., проф. Леонови÷ Г. И., ä.т.н., проф. Пани÷ А. Е., ä.т.н., проф. Пожеëа К., ä.ф.-ì.н. (Литва) Рыжий М. В., Ph.D, проф. (Япония) Сантос Э. Х. П., Ph.D, Ful. Prof. (Бразиëия) Синãх К., к.т.н. (Инäия) Теëеö В. А., ä.т.н., проф. Тиìоøенков С. П., ä.т.н., проф. Хабибуëëин Р. А., к.ф.-ì.н., äоö. Шубарев В. А., ä.т.н., проф. Pедакция: Лысенко А. В. (отв. секретарü) Чуãунова А. В. (нау÷. реä.) Щетинкин Д. А. (сайт) СОДЕРЖАНИЕ МАТЕРИАЛОВЕДЧЕСКИЕ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МНСТ Брусина К. Е., Полидаускайте А. В., Вальшина Р., Новикова С. П., Тарасенко А. Д., Никифоров А. И., Корляков А. В., Королев Д. В., Гареев К. Г., Ситков Н. О. Техноëоãия форìирования хиìи÷ески стойких ìикрофëþиäных систеì äëя ìикроэìуëüсионноãо синтеза . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Воротынцев Д. А. Гиäрофобизаöия изоëируþщеãо äиэëектрика в систеìах ìетаëëизаöии интеãраëüных схеì . . . . . . . . . . 7 Плюснин Н. И. Физи÷еское атоìно-сëоевое осажäение (PALD), как новая техноëоãия поëу÷ения наноìатериаëов и наноãетероструктур . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 Якушова Н. Д., Карманов А. А., Губич И. А., Ситникова М. Г., Пронин И. А. Иссëеäование вëияния теìпературы финиøной терìообработки на опти÷еские и фотокатаëити÷еские свойства зоëü-ãеëü пëенок äиоксиäа оëова . . . . . . . . . . . . . . . 31 ЭЛЕМЕНТЫ МНСТ Колосков Д. Б., Драгунов В. П. Иссëеäование вëияния паразитных эëеìентов на поãреøности преобразования быстроäействуþщих высокоразряäных ЦАП . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Аннотаöии и статüи на русскоì и анãëийскоì языках äоступны на сайте журнаëа (http://microsystems.ru; http://novtex.ru/nmst/) в разäеëе "Архив статей с 1999 ã.". ПОДПИСКА: по каталогу "Пресса России" (индекс 27849) в редакции журнала (тел. 8(499) 270-16-52) Учpедитель: Издательство "Новые технологии" © Издательство "Новые технологии", "Нано- и микpосистемная техника", 2026 НАНО- И МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, Том 28, № 1, 2026 1 Адрес для переписки: 107076, Москва, ул. Матросская Тишина, д. 23, стр. 2, оф. 45 e-mail: nmst@novtex.ru

Стр.3

INTERDISCIPLINARY, SCIENTIFIC, TECHNIQUE AND PRODUCTION JOURNAL NANO- and MICROSYSTEMS (Title "NANO- I MIKROSISTEMNAYA TEKHNIKA") TECHNOLOGY ISSN 1813-8586 DOI: 10.17587/issn1813-8586 CHIEF EDITOR Maltsev P. P., Dr. Sci. (Tech.), Prof. DEPUTY CHIEF EDITOR Khasanov O. L., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Shur M. S., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof. (USA) Editorial council: Sigov A. S., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Acad. RAS (chairman) Aseev A. L., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Acad. RAS Chaplygin Ju. A., Dr. Sci. (Tech.), Prof., Acad. RAS Gornev E. S., Dr. Sci. (Tech.), Prof., Acad. RAS Kuljchin Yu. N., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Acad. RAS Labunov V. A. (Belorussia), Sci. (Tech.), Acad. NASB Narajkin O. S., Dr. Sci. (Tech.), Prof., Cor.-Mem. RAS Ryzhii V. I., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Cor.-Mem. RAS Saurov A. N., Dr. Sci. (Tech.), Prof., Acad. RAS Shevchenko V. Ya., Dr. Sci. (Chem.), Prof., Acad. RAS Editorial board: Abramov I. I., Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof. (Belorussia) Andreev A., Cand. Sci. (Phys.-Math.), Prof. (UK) Astahov M. V., Dr. Sci. (Chem.), Prof. Baklanov M. R., Dr. Sci. (Chem.), Prof. (China) Basaev A. S., Cand. Sci. (Phys.-Math.) Dayneko A. V., Cand. Sci. (Phys.-Math.) Karjakin A. A., Dr. Sci. (Chem.), Prof. Khabibullin R. A., Cand. Sci. (Phys.-Math.), Ass. Prof. Kuznetsov E. V., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Korlyakov A. V., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Leonovich G. I., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Panich A. E., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Pozhela K., Dr. Sci. (Phys.-Math.) (Lithuania) Ryzhii M. V., Ph. D., Prof. (Japan) Santos E. J. P., Ph. D., Prof. (Brasil) Shubarev V. A., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Singh K., PhD (India) Telets V. A., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Timoshenkov S. P., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Vasiliev A. A., Dr. Sci. (Tech.) Vikulin V. V., Cand. Chem. Sci., Dr. Sci. (Tech.), Prof. Editorial staff: Lysenko A. V. (Executive secretary) Chugunova A. V. (Research Editor) Shchetinkin D. A. (site) 2 CONTENTS SCIENCE OF MATERIALS AND TECHNOLOGICAL BASICS OF MNST Brusina K. E., Polidauskaite A. V., Valshina R., Novikova S. P., Tarasenko A. D., Nikiforov A. I., Korlyakov A. V., Korolev D. V., Gareev K. G., Sitkov N. O. Technology for the Formation of Chemically Stable Microfluidic Systems for Microemulsion Synthesis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Vorotyntsev D. A. Hydrophobization of Insulating Dielectrics in the Metallization Systems of Integrated Circuits . . . . . . . . 7 Plyusnin N. I. Physical Atomic Layer Deposition (PALD) as a New Technology for the Production of Nanomaterials and Nanoheterostructures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 Yakushova N. D., Karmanov A. A., Gubich I. A., Sitnikova M. G., Pronin I. A. Investigation of the Influence of Finishing Heat Treatment Temperature on Optical and Photocatalytic Properties of Sol-Gel Tin Dioxide Films . . . . . . . . . . . . . . . . 31 MICRO- AND NANOSYSTEM TECHNIQUE ELEMENTS Koloskov D. B., Dragunov V. P. Study of the Parasitic Elements Effect on the Conversion Errors of Precision High-Speed DACs . . . 40 Web: www.microsystems.ru/eng; e-mail: nmst@novtex.ru © Издательство "Новые технологии", "Нано- и микpосистемная техника", 2026 НАНО- И МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, Том 28, № 1, 2026 The Journal is included in the international databases of the chemical sciences — Chemical Abstracts Service (CAS) and of the engineering sciences — INSPEC, and it is also indexed in the Russian Science Citation Index (RSCI) based on the Web of Science platform. The Journal is included in the Russian System of Science Citation Index and the List of Journals of the Higher Attestation Commission of Russia. Its articles have DOI and are printed in the Journal in Russian and English languages. The Journal is published under the scientificmethodical guidance of the Branch of Nanotechnologies and Information Technologies of the Russian Academy of Sciences. Vol. 28 No. 1 2026

Стр.4