И.Н. ЕРЕМИНА, А.Г. САНОЯН
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
С А М А Р А 2008
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ
ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
”САМАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АЭРОКОСМИЧЕСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ имени академика С. П. КОРОЛЕВА” <...> И.Н. ЕРЕМИНА, А.Г. САНОЯН
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Утверждено Редакционно-издательским советом университета
в качестве учебно-методического пособия
САМАРА
Издательство СГАУ
2008
УДК 621. <...> ISBN 978-5-7883-0662-9
В пособии изложены теоретические положения и физико-технические
методы анализа параметров физических сред и элементов конструкций, используемых в конструкторско-технологической практике создания микроэлектронных устройств. <...> МЕТОДЫ СТАТИСТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В
КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ПРАКТИКЕ СОЗДАНИЯ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ…………………. <...> 1.1 Физическая сущность статистического метода анализа макроскопических систем…………………………………………….. <...> 1.4 Динамическое равновесие элементарных процессов в макроскопических системах…………………………………………... <...> 1.5 Определение срока службы изделий на основе статистических методов физической надежности…………………………
1.6 Специфика протекания термоактивационных процессов в условиях внешних силовых воздействий. <...> 1.7.1 Определение концентрации активных частиц, ответственных за протекание элементарных физико-химических процессов………………………………………………
1.7.2 Статистический анализ физико-химических процессов,
используемых в технологической практике создания
элементов электронных устройств………………………. <...> 2 КОНТАКТНЫЕ И ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ В ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ СТРУКТУРАХ………………………………………….. <...> 3 ЭНТРОПИЙНЫЕ МЕТОДЫ И ПОКАЗАТЕЛИ КАЧЕСТВА
МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ <...>
Физико-технические_основы_устройств_микроэлектроники.pdf
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ
ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
”САМАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АЭРОКОСМИЧЕСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ имени академика С. П. КОРОЛЕВА”
И.Н. ЕРЕМИНА, А.Г. САНОЯН
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
С А М А Р А 2008
Стр.1
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ
ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
”САМАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АЭРОКОСМИЧЕСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ имени академика С. П. КОРОЛЕВА”
И.Н. ЕРЕМИНА, А.Г. САНОЯН
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Утверждено Редакционно-издательским советом университета
в качестве учебно-методического пособия
САМАРА
Издательство СГАУ
2008
Стр.2
УДК 621. 382(075)
ББК 32.844.1
Е 702
Рецензенты: д-р техн. наук, проф. СамГУ А. Н. К о м о в;
д-р техн. наук, проф. Н. Д. С е м к и н
Еремина И.Н.
Е 702 Физико-технические основы устройств микроэлектроники: учеб.метод.
пособие / И.Н. Еремина, А.Г. Саноян. – Самара: Изд-во Самар.
гос. аэрокосм. ун-та, 2008. – 84 с. : ил.
ISBN 978-5-7883-0662-9
В пособии изложены теоретические положения и физико-технические
методы анализа параметров физических сред и элементов конструкций, используемых
в конструкторско-технологической практике создания микроэлектронных
устройств. Приведен большой круг задач и упражнений по
рассматриваемой тематике. Форма представления учебного материала ориентирована
на значительный объем самостоятельной работы студентов.
Рекомендуется для студентов, обучающихся по специальности 200800
заочной формы обучения. Разработано на кафедре «Наноинженерия».
УДК 621. 382(075)
ББК 32.844.1
ISBN 978-5-7883-0662-9
2
© Самарский государственный
аэрокосмический университет, 2008
Стр.3