Показано, что представление неоднородной поглощающей пленки как суперпозиции тонких однородных слоев практически неизбежно приводит к расчетному профилю комплексного показателя преломления, существенно отличному от модельного. <...> Это наблюдается даже в случае относительно слабой линейной зависимости показателя преломления от толщины пленки и является следствием наложения двух факторов: некорректности обратной задачи эллипсомет-рии и рекуррентного характера расчетов. <...> В качестве альтернативы предлагается аппроксимация профиля показателя преломления "элементарного" слоя простыми зависимостями, например полиномиальной 1-2 степени. <...> При этом в общем случае необходимо использование процедуры численного решения дифференциальных уравнений типа уравнения Рикатти, через которые выражается зависимость полных поверхностных адмиттансов от толщины слоя. <...> Учет реальной зависимости полных поверхностных адмиттансов от толщины пленки с достаточно резким профилем показателя преломления необходим уже на этапе генерации модельных значений эллипсометрических параметров, так как в противном случае возможно получение модельных значений с ошибкой, сравнимой с абсолютной погрешностью обычных эллипсометрических измерений! <...>