№ 1 3 УДК 544.55 ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ФАКЕЛЬНОГО БАРЬЕРНОГО РАЗРЯДА В ТОКЕ АРГОНА В КАПИЛЛЯРЕ МЕТОДОМ КРОСС-КОРРЕЛЯЦИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ В.А. <...> Короленко, А.И. Загоскин, К.В. Козлов, Т.А. Никитина, Г.С. Федосеев, В.Г. Самойлович (кафедра физической химии; e-mail: kozlov@kge.msu.ru) Радиационная кинетика плазмы факельного барьерного разряда в токе аргона в капилляре изучалась методом кросс-корреляционной спектроскопии. <...> Установлено, что эмиссионный спектр разряда состоит из пиков электронно-возбужденных состояний аргона, полос радикалов гидроксила и второй положительной системы азота. <...> Анализ пространственновременных распределений интенсивности излучения для выбранных спектральных индикаторов показал, что причиной возникновения факела являются ионизационные волны, распространяющиеся по капилляру от электродной системы со скоростью около 105 м/с и выходящие наружу на 3–4 мм. <...> Установлено, что образование электронно-возбужденных молекул азота N2(C33PРu) в факеле разряда происходит преимущественно по реакции между метастабильными электронно-возбужденными атомами аргона и молекулами азота в основном электронном состоянии. <...> Барьерный разряд – эффективный генератор неравновесной химически активной плазмы [1, 2], получающий все более широкое применение в различных технологиях обработки поверхности материалов (нанесение тонких пленок, травление, модификация, дезинфекция) [2–5]. <...> Традиционно используемые конфигурации разрядной ячейки (плоско-параллельные или трубчатые с шириной межэлектродного промежутка в миллиметровом диапазоне) накладывают существенные ограничения на форму поверхности обрабатываемого плазмой изделия, которое в этом случае должно быть фактически одним из электродов. <...> Чтобы избежать указанных ограничений, необходимо добиться вынесения химически активной плазмы барьерного разряда за пределы межэлектродного пространства. <...> Такую возможность дает факельный барьерный разряд, который реализуется <...>