Т 50 (10) ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2007 А. М. Ефремов, А. И. Изгородин, В.С. Оченков, В. И. Светцов СПЕКТРАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСИ ХЛОРА С ВОДОРОДОМ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: aim@isc-rus.ru Проведено исследование состава плазмы и кинетики травления меди в смесях Cl2/H2 методом оптической эмиссионной спектроскопии. <...> Установлено, что зависимость скорости травления от состава смеси имеет немонотонный характер с максимумом при 20% Cl2 / 80% H2. <...> Наиболее вероятной причиной этого эффекта служит конкуренция процессов снижения потока химически активных частиц на поверхность и нелинейной активации десорбции продуктов взаимодействия под действием ионной бомбардировки. <...> Процессы «сухого» травления меди реализуются преимущественно с использованием плазмы хлорсодержащих газов, при этом широкое применение находят бинарные смеси хлора с инертными и молекулярными газами. <...> В таких системах, наряду с внешними параметрами разряда (давление и расход газа, вкладываемая мощность), начальный состав смеси представляет эффективный механизм регулирования конечного результата обработки. <...> Тем не менее, достоинства бинарных смесей не используются в полной мере из-за слабой изученности механизмов травления в этих системах. <...> Для многих объектов, в том числе и для меди, технологическая реализация плазмохимического травления основывается на эмпирическом материале, при этом, аргументы приводимые для объяснения многих экспериментальных эффектов, не обеспечиваются анализом параметров и состава плазмы. <...> Целью данной работы являлось спектральное исследование кинетики и механизмов травления меди в плазме смесей Cl2/H2 переменного состава. <...> Для экспериментального исследования кинетики плазмохимического травления меди в условиях тлеющего разряда постоянного тока использовался цилиндрический проточный плазмохимический <...>