Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия (1700,00 руб.)

Стр.3

Стр.40

УДК 531(075) ББК 22.3я73 Ф76 Рецензенты: С. В. Барышников, профессор кафедры физики и методики обучения физике БГПУ, д-р физ.-мат. наук, профессор Е. В. Стукова, зав. кафедрой физики АмГУ, в.н.с. НОЦ АмГУ, д-р физ.-мат. наук, доцент Ф76 Учебно-методическое пособие по выполнению расчетнографической работы по теме: электронная оже-спектроскопия / Д. В. Фомин, В. Л. Дубов. – Изд. 2-е, стер. – Москва ; Берлин : Директ-Медиа, 2019. – 40 с. ISBN 978-5-4499-0154-5 Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме электронная оже-спектроскопия подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего профессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела». В данном учебно-методическом пособии рассматриваются физические основы метода электронной оже-спектроскопии и его применение для определения элементного состава поверхности полупроводниковых низкоразмерных структур. Учебно-методическое пособие содержит указания по получению и анализу оже-спектров с помощью анализатора типа двухпролетное цилиндрическое зеркало. Пособие также будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока при проведении научно-исследовательской работы, а также студентам при выполнении НИРС. Данное пособие подготовлено в рамках работ по гранту АмГУ. УДК 531(075) ББК 22.3я73 Фомин, Д. В. ISBN 978-5-4499-0154-5 © Фомин Д. В., Дубов В. Л., текст, 2019 © Издательство «Директ-Медиа», оформление, 2019

Стр.3

Содержание 1. Метод электронной оже-спектроскопии ..................................................... 3 1.1. Физические основы ................................................................................... 3 1.2. Регистрация оже-электронов ................................................................... 5 1.3. Глубина выхода оже-электронов ............................................................ 7 1.4. Оже-анализ .................................................................................................. 7 1.5. Анализаторы энергии электронов ....................................................... 12 1.6. Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало ........................... 15 2. Методика эксперимента ................................................................................. 18 2.1. Оборудование ........................................................................................... 18 2.2. Подготовка образцов ............................................................................... 25 2.3. Техника термического осаждения в вакууме ..................................... 26 2.4. Калибровка источников ......................................................................... 30 3. Методические рекомендации по выполнению РГР ............................... 35 3.1. Настройки оже-спектрометра ............................................................... 35 3.2. Техника безопасности ............................................................................. 35 3.3. Задание РГР ............................................................................................... 36 Библиографический список ............................................................................. 38

Стр.40