УДК 681.586:629.7 О ГЛУБИНЕ МОДУЛЯЦИИ И НЕЛИНЕЙНОСТИ ЕМКОСТНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КВАЗИДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ Д. В. <...> Лебедев, В. В. Селифанова Представлены результаты анализа возможных вариантов глубины модуляции зазоров и ее влияния на нелинейность емкостных квазидифференциальных тонкопленочных датчиков давлений. <...> Доказано, что при допустимых потерях в точности измерений за счет снижения глубины модуляции зазора можно допустить трехкратную перегрузку давлением. <...> Отмечено, что по комплексу характеристик созданные датчики превосходят виброрезонансные (цилиндр, струна, камертон) датчики давлений. <...> Повышение глубины модуляции рабочего зазора емкостных датчиков, равно как и индуктивных, индуктивно-трансформаторных и вихретоковых, всегда считалось позитивной мерой повышения их точности. <...> Однако резкое повышение составляющей погрешности от аппроксимации заставляло снижать глубину модуляции до 5.10 %. <...> В емкостных тонкопленочных датчиках давлений, описанных в работах [1, 2], глубина модуляции рабочего зазора доводилась до величины, близкой к 100 %. <...> Топология, детали и внешний вид датчиков представлены на рис. <...> В таблице представлены данные аттестации одной из модификаций датчиков с упругим чувствительным элементом (ЧЭ) в виде мембраны с жестким центром и с автокомпенсационным измерительным преобразователем с уравновешиванием мгновенных зарядов, реализующим функцию вида: Uвых = UпитC0/Cx. <...> По данным таблицы для датчиков №№ 127, 130, 137, 139, 141, 149, 150 можно заключить, что основная погрешность датчиков 2σ при аппроксимации функции преобразования полиномом 1-й степени составила 0,13.0,52 %, при аппроксиОсновная погрешность и ее составляющие Основная погрешность и ее составляющие Номер датчика кгс/см2 Диапазон, Нормирующее значение N, В Основная по1-я степень аппроксимации 2-я степень аппроксимации 3-я степень аппроксимации ПоПогрешность 2σ, % грешность при аппроксимации Погрешность вар. <...> Основная погрешность <...>