Моделирование характеристик интегральных датчиков водорода с МДП-транзисторными чувствительными элементами. <...> Навигация в закрытом пространстве методом активного магнитного позиционирования . <...> Имитационное моделирование чувствительного элемента датчика давления струнного типа . <...> Особенности прогнозирования надежности систем и устройств по методике 217Plus ™ . <...> Инфракрасный сенсор для контроля довзрывоопасных концентраций горючих газов и паров горючих жидкостей . <...> Подлепецкий Представлены модернизированные электрофизические и электрические модели МДП-транзисторных чувствительных элементов для расчетов метрологических и эксплуатационных характеристик интегральных датчиков водородсодержащих газов и газоаналитических микросистем на их основе. <...> Ключевые слова: интегральные датчики водорода, МДП-транзисторные элементы, электрофизические и электрические модели, модели метрологических характеристик. <...> На кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ разработан ряд датчиков водорода с МДП-структурами Pd(Pt)—SiO2—Si, Pd/Ti— SiO2—Si, Pd(Pt)—Ta2O5—SiO2—Si и др. <...> . Наилучшие характеристики среди разработан2 Sensors & Systems · ¹ 7.2014 ных датчиков водорода имеет интегральная базовая ячейка ИДВ-3, которая содержит на одном чипе четыре элемента: водородочувствительные МДП-транзисторный чувствительный элемент со структурой Pd—Ta2O5—SiO2—Si (ТЧЭ) и палладиевый резистор, резисторный нагревательный элемент и тестовый транзистор со структурой Al—SiO2—Si, используемый также как термочувствительный элемент в схеме стабилизации рабочей температуры ТЧЭ [6]. <...> ТЧЭ, структура и топология ИДВ-3 представлены в работах [4, 6]. <...> Экспериментальные исследования показали, что метрологические и эксплуатационные характеристики ИДВ-3 зависят от конструктивно-технологических характеристик, тепловых и электрических режимов ТЧЭ, а также от параметров внешних влияющих факторов (концентраций других газов, мощностей светового и ионизирующего излучений <...>