Предложена физическая модель термически индуцированных процессов диффузии и фазообразования в слоистых системах металл-металлоид. <...> Осуществлена программная реализация модели, позволяющая количественно описывать кинетику этих процессов при произвольных режимах отжига. <...> Проведено сравнение результатов теоретических расчетов с результатами экспериментальных исследований методами мёссбауэровской спектроскопии слоистой имплантационной системы 57Fe:Of. <...> Согласие численных расчетов с экспериментальными данными указывает на то, что характер фазовых превращений в исследованной системе определяется изменением локальной концентрации металлоида в процессе его межузельной диффузии и соответствует особенностям фазовой диаграммы равновесных состояний бинарной системы Fe-O! <...>