УДК 548.3: 621.382 Влияние упаковки на воспроизводство сингонии кристалла кубического углерода С.А. Неустроев Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Influence of Packing on Reproduction of Singonia of c-C Crystal S.A. <...> Neoustroev National Research University of Electronic Technology, Moscow Рассмотрены особенности структуры алмаза и взаимодействие его с атомами углерода газовой фазы. <...> Выявлена причина последовательности роста трехслойной структуры кристалла кубического углерода с-С. <...> Ключевые слова: кубический углерод; гексагональная анаморфоза; тетраэдрические и гептаэдрические лунки; выбор атомами места в структуре с-С. <...> Воспроизводство сингонии кубического углерода (кубическая модификация алмаза с-С) наслаиванием атомов углерода из газовой фазы представляет значительный интерес. <...> Эксперименты по осаждению алмаза из газовой фазы, содержащей летучие соединения углерода, начались еще в 1960-х гг. <...> В публикациях последних лет [24] указывается о необходимости сообщения атомам газовой фазы более значительной энергии, включая ускорение и возбуждение. <...> Для этого в реакторе возбуждается разряд постоянного или переменного тока ВЧ- и СВЧдиапазона и их комбинация. <...> Несмотря на очевидный успех в получении монокристаллических образований углерода со структурой алмаза, объемные монокристаллы и алмазные пленки в промышленном масштабе не выращиваются. <...> Причиной является неполнота информации об особенностях структуры алмаза и о взаимодействии его с атомами углерода газовой фазы – компонентами химической реакции. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 6 2016 515 С.А. Неустроев Для осуществления синтеза, т.е. образования свободными атомами молекулярных связей с атомами поверхности, необходимо кроме сообщения им дополнительной энергии учитывать топографию атомов и особенности строения субстрата и, как следствие, наличие потенциального барьера над поверхностью осаждения. <...> Потенциальный барьер топологически неоднороден: по нормали над атомами он имеет одно значение, между атомами <...>