Прикладная физика, 2016, № 6 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ УДК 539.231:535.016 Строение оксидных пленок, полученных отжигом пленок алюминия на (0001) сапфировых подложках А. В. Буташин, А. Э. Муслимов, А. Л. Васильев, Ю. В. Григорьев, В. М. Каневский Методами электронографии, электронной и зондовой микроскопии изучено строение пленок, полученных отжигом на воздухе и в азоте предварительно нанесенных слоев металлического алюминия на (0001) поверхность сапфировых пластин. <...> Совершенство получаемых пленок Al2O3 повышается с повышением температуры отжига на воздухе до 1400 °С, со снижением скорости нагрева до 50 °С час-1, а также при наличии на поверхности пленки микрорельефа. <...> При отжиге в азоте получены многослойные, неоднородные по составу пленки оксидов алюминия. <...> Введение В ходе развития эпитаксиальных технологий выяснилось, что применение сапфировых подложек с регулярным микро- и нанорельефом на поверхности вместо подложек со сверхгладкой поверхностью в ряде случаев приводит к заметному повышению структурного совершенства наращиваемых кристаллических пленок полупроводниковых соединений [1—6]. <...> В нанотехнологиях такие подложки пригодны для формирования на них упорядоченных ансамблей наночастиц металлов, полупроводниковых нанопроводов и углеродных нанотрубок [7—9]. <...> Кроме высокотемпературного отжига подложек, который позволяет формировать на их поверхности регулярные наноструктуры в виде атомно-гладких террас и ступеней высотой до 5 нм [1, 10, 11], для создания регулярного микро- и нанорельефа другой желаемой конфигурации и размера также используют литографию с последуюБуташин Андрей Викторович, зав. лабораторией. <...> E-mail: amuslimov@mail.ru Статья поступила в редакцию 10 октября 2016 г. © Буташин А. В., Муслимов А. Э., Васильев А. Л., Григорьев Ю. В., Каневский В. М., 2016 77 щим вытравливанием поверхности подложки в окнах маски [2, 4] или наращиванием слоев сапфира на ее поверхности [5]. <...> В работе [12] проведены эксперименты по формированию на сверхгладкой <...>