УДК 537.311.322 МодЕлИроваНИЕ явлЕНИй ЭлЕКТроННоГо пЕрЕНоСа в МЕХаНИчЕСКИ НапряжЕННыХ полупроводНИКовыХ МИКроКрИСТаллаХ в. в. <...> К. петров 2 Липецкий государственный педагогический университет 2 Воронежский государственный университет рассмотрены эффекты, связанные с механическими напряжениями в полупроводниковых кристаллах и пленках. <...> Выполнен качественный анализ эффекта изменения проводимости в растянутом кристаллическом кремнии. получено и проанализировано распределение электрического поля в области анизотропного полупроводникового канала. ввЕдЕНИЕ В современной электронике все большее применение находят полупроводники и полупроводниковые соединения, в кристаллах которых из-за сложности строения решеток, под давлением или под влиянием внешних полей наблюдается анизотропия электрических, термоэлектрических и гальваномагнитных свойств, в частности, большие перспективы имеют структуры на основе механически напряженных кремния и германия, а также их соединений [ , 2]. <...> Как показывает обзор литературы, в данное время отсутствует подробно описанная теоретическая картина пьезосопротивления в растянутом нанокристаллическом кремнии. для проверки применимости теории линейного эффекта пьезопроводимости, необходимо определить долю поверхностной энергии в общей энергии кристалла, а также проверить квадратичность зависимости потенциальной энергии межатомного взаимодействия от величины деформации. <...> Согласно выполненным нами расчетам на основе экспериментальной зависимости межатомного потенциала Ми—Леннарда—джонса [3], для кристаллического кремния при деформациях e 2 %£ отклонение от нелинейности законов механических деформаций не превосходит 5 %. <...> Изменение зонной структуры от механических напряжений описывается в теории деформации полупроводниковых кристаллов [4, 5]. <...> Численные соотношения указанных работ оказываются справедливы и для нанокристаллов толщин порядка десятков <...>