ФОТОЭЛЕКТРОНИКА УДК 621.383.4/5:621.315.59 Исследование сопротивления микроконтактов гибридной сборки матричных ФЧЭ и схем считывания М. В. Седнев, А. А. Кочегаров, Э. А. Макарова Изготовлены макеты контактной системы БИС считывания формата 320 256 с шагом 30 мкм на кремниевой пластине. <...> Выполнено напыление слоев хрома, никеля и индия с последующим ионным травлением этих слоев через маску фоторезиста для формирования микроконтактов. <...> Приведены результаты измерения сопротивлений соответствующих индиевых микроконтактов при комнатной температуре и при температуре жидкого азота. <...> Rv Ключевые слова: индиевые микроконтакты, гибридизация, стыковка, метод перевернутого монтажа, сопротивление микроконтактов. <...> Введение Важным направлением микроэлектроники является создание матричных фотоприемных устройств (МФПУ) [1]. <...> Последние представляют собой устройства, состоящие из матричного фотоприёмника (МФП) и схемы обработки электрического сигнала — БИС считывания, объединенные единым корпусом и изготовленные методом гибридизации фоточувствительного элемента (ФЧЭ) и БИС считывания (см. рис. <...> Многоэлементные ИК-приёмники излучения для тепловидения в настоящее время вытесняют линейки фотоприёмников с отдельными предварительными усилителями (ПУ) для каждого ФЧЭ [1, 2, 4—7]. <...> Матричный фотоприемник — приемник, в котором ФЧЭ расположены в виде поля из большого количества элементов (матрица). <...> Матричная БИС считывания — это интегральная схема на основе кремния, которая Макарова Элина Алексеевна, инженер НТК1. <...> Статья поступила в редакцию 3 июня 2016 г. © Седнев М. В., Кочегаров А. А., Макарова Э. А., 2016 обеспечивает требуемые электрические режимы работы ФЧЭ, осуществляет считывание электрических сигналов, полученных в результате фотоэлектрического преобразования падающего на ФЧЭ ИК-излучения. <...> К параметрам МФПУ предъявляется ряд специфических требований. <...> Для создания инфракрасных МФПУ с высоким пространственным и временным <...>