Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 645537)
Контекстум
Прикладная физика  / №6 2012

Изготовление индиевых микроконтактов с помощью фоторезиста ФПН-20-ИЗО в БИС считывания фотосигнала (10,00 руб.)

0   0
Первый авторБатырев
АвторыКлиманов Е.А., Лисейкин В.П., Надров Д.Р., Седнев М.В.
Страниц3
ID461565
АннотацияРассмотрено применение "взрывного" метода с использованием обращаемого фоторезиста для создания индиевых микроконтактов с шагом <30 мкм, что позволяет в значительной степени устранить недостатки, присущие методу прямой фотолитографии, а именно, неоднородность химического травления по площади образцов и химическое воздействие на нижележащие технологические слои, приводящее к повышенной плотности дефектов
УДК621.315.5
Изготовление индиевых микроконтактов с помощью фоторезиста ФПН-20-ИЗО в БИС считывания фотосигнала / Н.И. Батырев [и др.] // Прикладная физика .— 2012 .— №6 .— С. 142-144 .— URL: https://rucont.ru/efd/461565 (дата обращения: 14.07.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Creation of indium microcontacts by dint of the FPN-20-ISO photoresist in a big integrated circuit reading a photosignal N. I. Batyrev Moscow State Academy of Delicate Chemical Technology named after M. V. Lomonosov 86 Vernadsky av., Moscow, 119571, Russia E. A. Klimanov, V. P. Liseykin, D. R. Nadrov, M. V. Sednev Orion R&P Association 46/2 Enthusiasts road, Moscow, 111402, Russia E-mail: orion@orion-ir.ru The explosive method is used for creation of indium microcontacts (step  30 m) by using negotiable photoresist. <...> This method lets to a large degree of removing defects, inherent for method of direct photolithography: floating chemical etching by all surface of samples, chemical influence on inferior technological layers, adducing to high density off defects. <...>