Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 610204)
Контекстум
Прикладная физика  / №6 2011

О механизме сокращения микродефектов при диффузии фосфора (10,00 руб.)

0   0
Доступно в Google Play
Первый авторКлиманов
Страниц5
10,00р
ID460359
АннотацияПредставлено уточнение механизма процесса сокращения микродефектов в кремнии геттер up о вани ем микродефектов диффузионным слоем фосфора
УДК621.315.5
Климанов, Е.А. О механизме сокращения микродефектов при диффузии фосфора / Е.А. Климанов // Прикладная физика .— 2011 .— №6 .— С. 129-133 .— URL: https://rucont.ru/efd/460359 (дата обращения: 16.04.2025)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

About mechanism of decreasing the microdefects at diffusion of phosphorus E. A. Klimanov Orion R&P Association 46/2 Enthusiasts road, Moscow, 111402, Russia E-mail: orion@orion-ir.ru The paper devotes to mechanism of decreasing the microdefects in silicon by gettering a diffusion layer of phosphorus. <...>

Облако ключевых слов *

electrochemical society n+ rsn важнейших на выгодно что графические материалы имеющих прикладного материалы фото микродефектов научно-технические издания но франции обсуждаемые важнейших от абсолютного полноцветные форматы прикладного перспектив прикладные проблемы публикуя теперь представляются технические научного физики областей физики прикладная физические конференциях франции из черно-белые форматы
* - вычисляется автоматически