51, № 3 ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.3.049.77.002.5 НОВЫЙ ПОДХОД К СОЗДАНИЮ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ МИКРОГЕНЕРАТОРОВ УДАРНОГО ТИПА И. Л. <...> Багинский, Э. Г. Косцов, А. А. Соколов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: baginsky@iae.nsk.su Описывается новый класс электростатических микрогенераторов энергии, преобразующих энергию механических микроколебаний в электрическую форму. <...> Принцип преобразования состоит в том, что внешние микровибрации передаются на корпус прибора, на поверхности которого расположены тонкие слои электретов, между ними на слабой подвеске помещается подвижный электрод, попеременно соударяющийся с корпусом. <...> Проведён численный анализ работы генератора и получены аналитические оценки вырабатываемой мощности. <...> Для питания этих устройств разрабатываются микрогенераторы энергии мощностью 10–1000 мкВт/см2. <...> Одним из перспективных источников энергии для питания существующих микроустройств является энергия вибраций поверхностей твёрдых тел, которые могут обеспечить генерацию достаточной электрической мощности. <...> Для колебаний корпусов различных машин и механизмов характерен диапазон более высоких частот — от 100 до 1000 Гц при амплитудах 10–100 мкм [5]. <...> В [1, 2, 6] достаточно подробно анализировались различные способы преобразования энергии микровибраций в электрическую энергию, описывались электромагнитные, электростатические и пьезоэлектрические генераторы. <...> В отличие от классических ёмкостных генераторов [6, 14] электретные генераторы [15, 16] не требуют использования внешнего источника напряжения, поэтому они просты в реализации и наиболее перспективны для практического применения. <...> 51, № 3 Известно два типа ёмкостных микрогенераторов, отличающихся методом перемещения подвижных электродов: либо сдвиг осуществляется в плоскости их расположения (далее эта конструкция называется планарной) [17–31], либо имеет место раздвижение <...>