Кутателадзе, 18, Новосибирск 630128 (Россия) (Поступила 02.10.14; после доработки 29.10.14) Аннотация Методом пиролиза аэрозолей получены прозрачные проводящие тонкопленочные покрытия на основе оксида олова, допированного фтором SnO2 хFх. <...> Покрытия характеризуются нанокристаллической структурой со средним размером частиц 14 нм. <...> Исследованы кинетические зависимости изменения сопротивления пленок in situ в процессе увеличения толщины покрытий. <...> Отработаны режимы получения прозрачных пленок SnO2 хFх с удельной проводимостью более 103 См/см. <...> Ключевые слова: термическое разложение аэрозолей, оксид олова, наночастицы, прозрачные проводящие покрытия, FTO 103 ВВЕДЕНИЕ Пленочные покрытия на основе оксида олова, допированного фтором (SnO2 хFх), обладают высокой прозрачностью в видимой области света и относительно низким сопротивлением [1]. <...> Такие материалы находят применение в качестве прозрачных электрических контактов для планарных электронных и электрохимических устройств: тонкопленочных транзисторов [2], солнечных батарей [3], электрохромных систем (умных окон, дисплеев) [4] и т. д. <...> Один из наиболее простых, быстрых и экономичных способов получения пленочных покрытий это метод термического разложения аэрозолей (spray pyrolysis). <...> Он заключается в распылении на горячую подложку аэрозоля, содержащего прекурсоры, термолиз которых сопровождается осаждением на под© Серенко С. А., Уваров Н. Ф., Гавриленко В. А., 2015 ложке пленки заданного состава. <...> Несмотря на простоту реализации, метод термического разложения аэрозолей трудно поддается контролю вследствие сложности процессов, протекающих при термолизе аэрозоля и формировании пленки. <...> По этой причине литературные данные об условиях нанесения прозрачных проводящих пленок методом аэрозольного нанесения и о свойствах получаемых покрытий зачастую противоречивы [57]. <...> В настоящей работе методом термолиза аэрозолей синтезированы проводящие пленки диоксида олова, допированного <...>