Пуряев, Н.Л. Лазарева, А.В. Иконина ОПТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ДВУХЛУЧЕВЫХ ИНТЕРФЕРОМЕТРОВ Часть 4 Под редакцией Д.Т. Пуряева Рекомендовано УМО по образованию в области приборостроения и оптотехники в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 200200 «Оптотехника» и специальности 200203 «Оптико-электронные приборы и системы» Мос ква Издательство МГТУ им. <...> ISBN 978-5-7038-3262-2 Рассмотрены оптические системы интерферометров для контроля формы выпуклых асферических поверхностей, в том числе высокоапертурных. <...> В измерительных ветвях этих интерферометров не используются оптические элементы, диаметры которых существенно больше диаметров контролируемых поверхностей. <...> Дано представление о методе оптической компенсации и нетрадиционной реализации метода анаберрационных точек. <...> Описаны оптические системы современных интерферометров для контроля плоских, сферических и асферических поверхностей (АП) среднего и большого диаметров. <...> Подробно рассмотрен метод компенсации аберраций нормалей АП, при котором компенсатор создает бесконтактное виртуальное пробное стекло практически любых размеров. <...> В измерительных ветвях рассмотренных ранее интерферометров для контроля выпуклых АП присутствуют элементы, диаметры которых существенно больше диаметров контролируемых АП. <...> В четвертой части учебного пособия представлены оптические системы интерферометров для контроля формы выпуклых АП, в измерительных ветвях которых нет крупногабаритных оптических элементов. <...> В одних случаях рабочий волновой фронт преломляется контролируемой АП, которая входит в состав оптической системы, исправленной на сферическую аберрацию: такой подход называют оптической компенсацией. <...> В других случаях применяется метод анаберрационных точек контроля АП второго порядка в сочетании с нетрадиционными вариантами конструкции измерительной ветви интерферометра, где нет крупногабаритных <...>
Оптические_системы_двухлучевых_интерферометров._Часть_4.pdf
УДК 531.515(075.8)
ББК 22.343.4
П889
Рецензенты: Е.Ф. Ищенко, Ю.И. Безубов
П889
Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Иконина А.В.
Оптические системы двухлучевых интерферометров:
Учеб. пособие. — Ч. 4 / Под ред. Д.Т. Пуряева. — М.: Изд-во
МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. — 44 с.: ил.
ISBN 978-5-7038-3262-2
Рассмотрены оптические системы интерферометров для контроля
формы выпуклых асферических поверхностей, в том числе высокоапертурных.
В измерительных ветвях этих интерферометров не используются
оптические элементы, диаметры которых существенно
больше диаметров контролируемых поверхностей. Дано представление
о методе оптической компенсации и нетрадиционной реализации
метода анаберрационных точек. Много внимания уделено конструктивным
особенностям, параметрам и характеристикам элементов
измерительных ветвей этих интерферометров. Материалы, предлагаемые
в данном учебном пособии, ранее в учебной литературе не освещались.
Для
студентов, обучающихся по направлению подготовки «Оптотехника»,
изучающих дисциплины «Оптические измерения», «Оптические
измерительные и контрольно-юстировочные приборы»,
«Исследование и контроль оптических систем». Пособие также может
быть полезно при курсовом и дипломном проектировании и выполнении
квалификационных работ.
УДК 531.15(075.8)
ББК 22.343.4
ISBN 978-5-7038-3262-2
2
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение...................................................................................................... 3
1. Интерферометр для контроля формы выпуклых асферических
поверхностей линз.................................................................................. 4
2. Интерферометр с совмещенными ветвями для контроля формы
выпуклых асферических поверхностей низкого класса точности ....... 13
3. Интерферометры для контроля формы асферических поверхностей
второго порядка методом анаберрационных точек.............................. 24
3.1. Интерферометр с менисковой линзой в измерительной ветви...... 25
3.2. Интерферометр с иммерсионным блоком в измерительной ветви..... 33
Список литературы ................................................................................... 42
43
Стр.43