Накопление ПУ происходит как в канале так и на поверхности цеолита, что подтверждается данными рентгенофазного анализа. <...> При исследовании превращения пропилена необходимо учитывать тот факт, что при отложении ПУ происходит блокировка активных центров катализатора. <...> Уместно отметить, что с появлением новых экспериментальных и теоретических данных появляется потребность пересмотреть кинетику и механизм превращения пропилена, которым посвящено много исследовательских работ. <...> Экспериментальные методы в адсорбции и молекулярной хромотографии. <...> Роль продуктов уплотнения в процессе олигомеризации пропилена на цеолитном катализаторе. <...> УДК 537.525 С.А. Пивоваренок, А.В. Дунаев, А.М. Ефремов, В.И. Светцов СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Проведено исследование кинетики и механизмов газового (без разряда) и плазменного травления алюминия в хлоре. <...> Показано, что в диапазоне температур 393 – 543 К реализуются два режима травления, различающихся характером температурной зависимости скорости и кинетических кривых и обусловленные изменением типа доминирующего продукта реакции. <...> Установлено, что наблюдаемая кинетика травления как в газовом, так и в плазменном процессах отражает взаимодействие атомов и молекул хлора с Al2O3. <...> ВВЕДЕНИЕ Интенсивное развитие технологии микроэлектроники и переход к производству ИМС с субмикронными размерами элементов обуславливают необходимость оптимизации многих технологических процессов, в том числе и процессов размерного травления. <...> Одним из ключевых процессов здесь является травление тонких пленок алюминия для создания межэлементных соединений в кремниевых ИМС [1, 2]. <...> Исторически первым для травления Al был разработан жидкостной процесс с использованием смеси кислот HNO3 и H3PO4, обеспечивающий высокие скорости, но низкую анизотропию, разрешение и воспроизводимость травления [1]. <...> После перехода <...>