Актуальные проблемы современной науки, № 4, 2010 Чекасин А.И., аспирант Московского государственного института электронной техники АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ И УЧЁТ НЕЛИНЕЙНОСТИ ХАРАКТЕРИСТИКИ MEMS-АКСЕЛЕРОМЕТРОВ ПРИ РАЗРАБОТКЕ ИНКЛИНОМЕТРОВ В настоящее время всё большее распространение получают микроэлектромеханические датчики и системы (MEMS). <...> Их малые масса и габариты, высокие эксплуатационные характеристики и низкая стоимость привлекают разработчиков измерительных систем, не требующих большой точности. <...> Одним из наиболее распространённых примеров таких систем являются устройства горизонтирования и измерения углов наклона, построенные на базе MEMS-акселерометров, – инклинометры [1]. <...> Принцип действия инклинометра заключается в измерении направления ускорения свободного падения в системе координат, связанной с целевым объектом (условно будем называть его платформой). <...> Зная координаты вектора g r нетрудно вычислить углы отклонения вертикальной оси платформы от идеального положения. <...> Для простоты изложения будем рассматривать одномерный инклинометр. <...> Свяжем с платформой систему координат OXYZ таким образом, чтобы ось Y была направлена вертикально вверх. <...> Будем считать, что платформа может поворачиваться только вокруг оси Z в диапазоне углов [ 90 ; 90 ]° . <...> На платформе закрепим одноосный акселерометр, так чтобы − ° его ось чувствительности была сонаправлена оси X . <...> В идеальном случае его выходной сигнал будет определяться выражением [2]: A B Sg cos+= , между осью чувствительности датчика и вектором ускорения свободного падения g r . <...> Будем где B – смещение нулевого сигнала датчика (например, в вольтах, если на выходе датчика изменяется напряжение), S – коэффициент чувствительности датчика ( Вс м2 называть углом наклона платформы = + ), – угол угол отклонения вертикальной оси платформы от идеального состояния. <...> С учётом всех введённых обозначений получаем выражение, связывающее сигнал акселерометра с углом наклона платформы <...>