Moharam M. G., Grann E. B., Pommet D. A., Gaylord T. K. Formulation for
stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of
binary gratings // J. Opt. <...> Li L. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic
structures// JOSA ² 1996. <...> Moharam, M. G., D. A. Pommet, E. B. Grann, and T. K. Gaylord, "Stable
implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief
gratings: enhanced transmittance matrix approach," J. Opt. <...> Egorov A.A. Theory of waveguide optical microscopy // Laser Physics.
1998. <...> Baranov D.V., Egorov A.A., Zolotov E.M., Svidzinsky K.K. Influence of
phase distortions on the response of an optical heterodyne microscope //
Laser Physics. 1996. <...> Moharam M. G., Grann E. B., Pommet D. A., Gaylord T. K. Formulation for
stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of
binary gratings // J. Opt. <...> Li L. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures
// JOSA ² 1996. <...> Optimal design for periodic anti-reflective structures for
Helmholtz equation // European J. Appl. <...> Bao G. Numerical analysis of diffraction by periodic structures: TM
polarization// Numer. <...>
_Метод_связанных_волн_расчета_дифракционных_тонкопленочных_оптических_структур.pdf
А.А. Егоров, К.П. Ловецкий,
Л.А. Севастьянов, А.А. Хохлов
МЕТОД СВЯЗАННЫХ ВОЛН
РАСЧЕТА ДИФРАКЦИОННЫХ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ
ОПТИЧЕСКИХ СТРУКТУР
Учебное пособие
Москва
Российский университет дружбы народов
2011
Стр.2
ББК 22.1
Е 30
У т в е р ж д е н о
РИС Ученого совета
Российского университета
дружбы народов
Рецензент–
кандидат физико-математических наук Д.Д. Грачев
Егоров А.А., Ловецкий К.П.,
Севастьянов Л.А., Хохлов А.А.
Е 30 Метод связанных волн расчета дифракционных тонкопленочных
оптических структур: Учеб. пособие. – М.: РУДН,
2011. – 164 с.: ил.
ISBN 978-5-209-03572-5
Пособие посвящено изложению метода связанных волн и его
применениям к решению задач расчета тонкопленочных дифракционных
решеток. Метод является наиболее эффективным в случае анализа бинарных
оптических решеток, однако с дополнительными условиями применим
также и к решеткам с более сложным профилем.
Приведен подробный вывод расчетных формул для случаев ТЕ- и
ТМ-поляризованных волн, а также случая конической дифракции. Изложены
численно устойчивые методы определения интенсивностей пропускания
и отражения дифракционных решеток.
Для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям 010300
«Математика. Компьютерные науки», 010400 «Информационные технологии»
или 010500 «Прикладная математика и информатика», и студентов
магистратуры, обучающихся по магистерской программе «Математическое
моделирование оптических наноструктур». Может быть полезно
для студентов и аспирантов, обучающихся по направлениям (специальностям)
551906 «Компьютерная оптика», 551901 «Прикладная оптика»,
511500 «Радиофизика», 510201 «Математическая физика» и 510417
«Теоретическая и математическая физика».
ISBN 978-5-209-03572-5
ББК 22.1
© Егоров А.А., Ловецкий К.П., Севастьянов Л.А., Хохлов А.А., 2011
© Российский университет дружбы народов, Издательство, 2011
Стр.3
3
Стр.4
-
4
Стр.5
........................................................................................ 3
......................................................................... 5
............................................................................................ 5
........................................................................................... 5
............................................................................... 8
......................................................... 17
...................................................................... 19
............................................. 28
.............. 28
- .. 38
- ......................... 44
................................... 52
......................................................... 52
................................................................................................... 53
.............................................................................................. 53
... 58
........................................................................................ 63
-
............................................... 65
.................................................................................... 65
........................................................................................................ 66
................................................................... 66
......................... 67
....................................................................................... 67
................ 68
(3.39). ............................................................................ 68
(3.40). ............................................................................ 70
.................................................................................................. 73
........................................................................ 75
................................................................................ 75
............................................. 76
............................................................. 77
................................................... 78
- .............. 79
162
Стр.163
..........................................................................84
............................................................................85
..........................................................87
.............................88
zd
z 0 .................................................90
..........................................92
.........................................................................94
.......................................101
...........................................................101
.105
.....................................................106
.............................................................................................111
............................................................111
...................................................................113
«
»
...............................................................114
...................... 118
................................... 121
............................................................124
..............................................................124
.................................................... 125
.......................................126
.......................................................................... 127
..........................................................................128
.............................128
....................................................................................................131
.............................................................................................131
................................................................................... 132
....................................................................... 140
...........................140
........................................................................................................ 141
.................................................. 141
.............................................141
........................................................................................146
................................................................................ 149
163
Стр.164