Г. Егера, посвящённую наноизмерительным и
нанопозиционным технологиям, разработанным в университете г. Ильменау (Германия). <...> Ю. В. Чугуй
РОССИИСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК
СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ
НАУЧНЫЙ ЖУРНАЛ
АВТОМЕТРИЯ
ОСНОВАН в ЯНВАРЕ 1965 ГОДА ВЫХОДИТ в РАЗ в ГОом 46 2010 N2 4
ИЮЛЬ — АВГУСТ
СОДЕРЖАНИЕ
НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ
Федина Л. И., Щеглов Д. В., Гутаковский А. К., Косолобов С. С., Латышев А. В. <...> Автоматическая регистрация движения
объектов спекл-методом в терагерцовом диапазоне . <...> Дифракционные элементы для лазера на свободных электронах . <...> Оценки максимального правдоподобия параметров слабых оптических сигналов при фотодетектировании путём фиксации моментов эмиссии фотоэлектронов 98
ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЬТЕ СИСТЕМЫ
Воевода М. И., Пельтек С. Е. <...> Мноюканальцьш высокопроизводительньш ОПТИКО-ЭЛЭКТРОННЪЙ контроль качества поверхности топливных таблеток . <...> Показано, что высота моноатомной ступени на поверхности Si(111), покрытой тонким естественным
оксидом, по данным ВРЭМ составляет 0,314 :|: 0,001 HM. <...> Показано, что метод геометрической фазы может быть использован для количественного анализа деформашай кристаллической решётки напряжённых гетероструктуо ВРЭМ-изображениям с точностью до 10“4 %, а т situ облучение электронами во
ВРЭМ — для визуализации в Si упорядоченной кластеризации вакансий и междоузельных
атомов в плоскости {113}. <...> Это обусловливает необходимость создания первичных
эталонов с привлечением высокоразрешающих литографических технологий [2], а также
на основе использования элементов естественного рельефа поверхности (например, моноатомных ступеней [З]), размер которых привязан к природным фундаментальным константам (кристаллографическим параметрам кристаллов, например кремния В последнем <...> *Работа вьшолнена при поддержке Министерства образования и науки РФ (ГК 02.740.11.0519).
б АВТОМЕТРИЯ. <...> Другие электронно-микроскопические методы т situ, основанные
на использовании дифракционного <...>
Автометрия_№4_2010.pdf
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
- -
-
-
-
- - --
-
-
-
-
- --
-
-
-
-
-
-
Стр.1
-
-
-
-
- -
-
-
-
-
-
-
Стр.2
-
-
-
-
Стр.3
-
-
-
-
-
-
--
-
-
---
-
-
-
-
--
-
-
-
-
- - -
-
-
-
-
-
-
-
-
- -
-
-
- -
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
- -
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
- - -
-
Стр.4