ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА СТРУКТУРУ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДИОКСИДА ЦЕРИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ (1000,00 руб.)

Первый автор	Насакина
Авторы	Сударчикова М.А., Баикин А.С., Мельникова А.А., Михайлова А.В., Дормидонтов Н.А., Прокофьев П.А., Конушкин С.В., Сергиенко К.В., Каплан М.А., Севостьянов М.А., Колмаков А.Г.
Страниц	8

ID	883883
Аннотация	Методом магнетронного распыления с применением последующего отжига получены нанои микроразмерные поверхностные слои диоксида церия CeO2 на основе титанового сплава ВТ6. Структуру образцов определяли с помощью сканирующей электронной микроскопии, электронной Оже- спектроскопии, энергодисперсионной спектроскопии и рентгеновской дифрактрометрии. Показаны линейная зависимость толщины поверхностного слоя от длительности его осаждения и нелинейный ее рост при увеличении мощности источника питания, увеличение шероховатости поверхности, расслаивание и разрыхление поверхностного слоя, предположительно связанные с отжигом. В образцах с поверхностным слоем тоньше 750 нм обнаружено формирование подслоя TiO2, Al2O3 и CeVO4, а при слое < 300 нм весь диоксид церия расходовался на объединение с диоксидом ванадия до ванадата.

ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА СТРУКТУРУ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДИОКСИДА ЦЕРИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ / Е.О. Насакина [и др.] // Металлы .— 2023 .— №6 .— С. 90-97 .— URL: https://rucont.ru/efd/883883 (дата обращения: 30.07.2025)