СИНТЕЗ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПОКРЫТИЙ TiN- Cu НА ПРИНЦИПЕ СОПРЯЖЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО- ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ, МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И РАСПЫЛЕНИЯ ИОННЫМ ПУЧКОМ (1000,00 руб.)

Первый автор	Семенов
Авторы	Цыренов Д., Семенова И.А.
Страниц	3

ID	883786
Аннотация	Получены сверхтвердые композитные покрытия TiN- Cu, синтез которых основан на принципе сопряжения режимов работы вакуумно- дугового испарителя, планарного магнетрона и плазменного источника ионов. Строение, структура и свойства композитных покрытий TiN- Cu не зависят от типа гибридных методов их синтеза. Показано, что покрытия имеют характерную однородную глобулярную структуру с размерами кристаллитов в пределах 20—50 нм и текстурируются по плоскости ( 111) . Медь не образует собственной кристаллической фазы и не находится в кристаллической решетке других фаз, расположена на границах кристаллитов в аморфном, либо рентгеноаморфном состоянии. Содержание меди по всему профилю покрытий составляет 5—10 ат. % . Микротвердость покрытий 38—42 ГПа.

Семенов, А.П. СИНТЕЗ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПОКРЫТИЙ TiN- Cu НА ПРИНЦИПЕ СОПРЯЖЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО- ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ, МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И РАСПЫЛЕНИЯ ИОННЫМ ПУЧКОМ / А.П. Семенов, Д. Цыренов, И.А. Семенова // Металлы .— 2023 .— №2 .— С. 45-47 .— URL: https://rucont.ru/efd/883786 (дата обращения: 13.03.2025)