Боброва, Ю.С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю.Б. Цветков; Ю.С. Боброва .— Москва : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020 .— 45 с. : ил. — ISBN 978-5-7038-5369-6 .— URL: https://rucont.ru/efd/776304 (дата обращения: 15.03.2025)