Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды (800,00 руб.)

Стр.3

Стр.63

УДК 621.5 ББК 33.77:74.263.0 Б17 Издание доступно в электронном виде по адресу https://bmstu.press/catalog/item/6622/ Факультет «Машиностроительные технологии» Кафедра «Электронные технологии в машиностроении» Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебно-методического пособия Базиненков, А. М. Б17 Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : учебно-методическое пособие / А. М. Базиненков, А. Т. Каменихин. — 2-е изд., испр. — Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. — 62, [2] с. : ил. ISBN 978-5-7038-5384-9 Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана. УДК 621.5 ББК 33.77:74.263.0 © МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017 © МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020, с изменениями ISBN 978-5-7038-5384-9 © Оформление. Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020

Стр.3

Содержание Предисловие ............................................................................................... 3 Теоретическая подготовка .................................................................... 5 Понятие вакуума. Характеристики вакуумных систем ...................... 5 Методы создания вакуумной технологической среды ....................... 7 Вакуумные насосы для создания разряжения в технологических камерах .................................................................. 7 Практические занятия ........................................................................... 10 Лабораторная работа № 1. «Вакуумные насосы» ............................... 10 1.1. Конструкция и принцип действия насосов ............................ 10 1.2. Порядок выполнения лабораторной работы ......................... 21 Вопросы и задания для самоконтроля и подготовки к защите лабораторной работы ..................................................... 24 Лабораторная работа № 2. «Измерение вакуума» .............................. 25 2.1. Принципы измерения вакуума и типы манометров ............. 25 2.2. Описание экспериментального вакуумного стенда ............. 33 2.3. Порядок выполнения лабораторной работы ......................... 34 Вопросы и задания для самоконтроля и подготовки к защите лабораторной работы ..................................................... 39 Лабораторная работа № 3. «Измерение быстроты откачки методом постоянного объема» ............................................................. 39 3.1. Метод постоянного объема ..................................................... 39 3.2. Описание экспериментального вакуумного стенда .............. 41 3.3. Порядок выполнения лабораторной работы ......................... 41 Вопросы и задания для самоконтроля и подготовки к защите лабораторной работы ..................................................... 45 Техника безопасности при выполнении лабораторных работ .............. 46 Система оценивания качества выполненной работы .............................. 48 Литература ................................................................................................. 49 Приложение. Формы отчетов по лабораторным работам ...................... 50 62

Стр.63