ХI Всероссийская научно-техническая конференция
«Проблемы разработки перспективных
микро- и наноэлектронных систем» (МЭС-2022)
г. Москва, г. Зеленоград, март – ноябрь 2022 г.
Очередная ХI Всероссийская с международным участием научно-техническая конференция
«Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем» (МЭС-2022)
проводится с марта по ноябрь 2022 г. в очно-заочном формате.
Прием докладов осуществляется с 1 марта по 1 сентября 2022 г.
Организатор и проводящая организация: Федеральное государственное бюджетное
учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии
наук.
Соорганизатор: Казенное предприятие города Москвы «Корпорация развития Зеленограда».
Оператор: Московское научно-техническое общество радиотехники, электроники и связи
им. А. С. Попова.
Учредители: Российская академия наук, Министерство науки и высшего образования
Российской Федерации, Отделение нанотехнологий и информационных технологий РАН,
Российский фонд фундаментальных исследований, Правительство г. Москвы, ОА «Концерн
радиостроения «Вега», Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Институт электронных
управляющих машин им. И. С. Брука, АО «НИИМА «Прогресс», Префектура Зеленоградского АО
г. Москвы, Институт проблем информатики РАН, МИРЭА – Российский технологический
университет, Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Южный федеральный
университет, Университет Иннополис.
Официальные партнеры: Фонд инфраструктурных и образовательных программ (Группа
РОСНАНО), Инновационный центр «Сколково», Intel Corporation, Томский государственный
университет систем управления и радиоэлектроники, НПК «Технологический центр».
Спонсоры: АО «КАДФЕМ Си-Ай-Эс», АО «МЕГРАТЕК», ЗАО «ПКК Миландр», АО НПЦ
«ЭЛВИС», АО «МЦСТ».
Основные обсуждаемые темы:
• Теоретические аспекты проектирования микро- и наноэлектронных систем (МЭС).
• Методы и средства автоматизации проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем
(САПР СБИС).
• Опыт разработки цифровых, аналоговых, цифроаналоговых, радиотехнических функциональных
блоков СБИС.
• Особенности проектирования СБИС для нанометровых технологий.
• Системы на кристалле перспективной РЭА.
Все принятые доклады будут опубликованы в Сборниках трудов конференции, предложены к
обсуждению и выставлены на голосование. По результатам голосования победители получат
денежные призы, призеры – почетные дипломы. Сборники трудов конференции МЭС включены
ВАК в Перечень российских рецензируемых научных изданий, в которых должны быть
опубликованы основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата
наук, на соискание ученой степени доктора наук.
Более подробную информацию о конференции можно получить на сайте:
http://www.mes-conference.ru
Стр.2
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 27, № 2, 2022
март – апрель
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-2967-272X
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр
экспертизы» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-3177-9136
Беспалов Владимир Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Быков Дмитрий Васильевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский университет
«Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-4935-7292
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Гагарина Лариса Геннадьевна – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь),
ORCID: 0000-0003-3774-5471
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Коноплёв Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия), ORCID: 0000-0003-3105-029X
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь), ORCID: 0000-0002-3494-4881
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Национальный исследовательский
ядерный университет «МИФИ» (Москва, Россия)
© «Известия вузов. Электроника», 2022
© МИЭТ, 2022
Стр.3
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада)
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий
микроэлектроники РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф.,
Институт электронной инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Заведующая редакцией И. М. Доронина
Редактор А. В. Тихонова
Корректор И. В. Проскурякова
Верстка А. Ю. Рыжков, С. Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 14.04.2022. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 14,415 усл.печ.л., 13,108 уч.-изд.л. Тираж 150 экз. Заказ № 4. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук по следующим группам специальностей:
05.11.00 Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
05.13.00 Информатика, вычислительная техника и управление
05.27.00 Электроника
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Является членом Crossref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге «Пресса России» ООО «Агентство «Книга-Сервис» – 38934.
Подписной индекс в каталоге «Периодические издания. Газеты и журналы»
ООО «Урал-Пресс Округ» – 47570.
154
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(2)
Стр.4
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
СОДЕРЖАНИЕ
Технологические процессы и маршруты
Ромашкин А. В., Поликарпов Ю. А., Левин Д. Д., Неволин В. К. Прозрачный проводящий
электрод на основе углеродных нанотрубок, формируемый аэрозольным распылением на полимерном
слое P3HT:PCBM ....................................................................................................................... 159
Лучинин В. В., Панов М. Ф., Павлова М. В., Рыбка Ф. Е. Оптический контроль параметров
подложек и эпитаксиальных структур карбида кремния ..................................................................... 175
Элементы интегральной электроники
Комаров В. Т. Моделирование СВЧ-усилителей мощности на GaN-транзисторах ....................... 187
Схемотехника и проектирование
Щагин А. В., Нгуен Тхань Зыонг, Чжо Сое Вин. Сравнительный анализ электроприводов
производственных станков ..................................................................................................................... 193
Матюха В. А., Волощук С. С., Мосин С. Г. Разработка универсального настраиваемого
вычислителя целочисленного квадратного корня на базе ПЛИС ....................................................... 205
Ефанов Д. В., Зуева М. В. Коды с суммированием по произвольному модулю в схемах встроенного
контроля, реализованных по методу логического дополнения .............................................. 218
Kostanyan H. T. Skew improvement method for digital delay lines
(Костанян А. Т. Метод выравнивания отклонения сигнала для цифровых линий задержки) ...... 233
Микро- и наносистемная техника
Йе Ко Ко Аунг, Симонов Б. М., Тимошенков С. П. Анализ усталости и оценка числа циклов
воздействия до выхода из строя чувствительного элемента микромеханического емкостного
акселерометра .......................................................................................................................................... 240
Интегральные радиоэлектронные устройства
для реализации АЦП ............................................................................................................................... 248
Информационно-коммуникационные технологии
Магеррамов Р. В. Математическое моделирование контура фазовой автоподстройки частоты
Петров Е. Н., Портнов Е. М. Исследование возможностей рекуррентных нейронных сетей
для решения задачи классификации слабоструктурированной информации на примере библиографических
данных ............................................................................................................................... 259
Дорогова Е. Г., Дорогов В. Г., Микитась А. В., Баин А. М., Маршалов В. Н. Моделирование
информационных систем с управляемой дисциплиной обслуживания в целях повышения
качества обслуживания запросов ........................................................................................................... 268
Конференции
XI Всероссийская научно-техническая конференция «Проблемы разработки перспективных
микро- и наноэлектронных систем» (МЭС-2022)........................................................... 2-я стр. обложки
К сведению авторов .............................................................................................................................. 275
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(2)
155
Стр.5
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 27, No. 2, 2022
March – April
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2967-272X
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3177-9136
Vladimir A. Bespalov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Dmitri V. Bykov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-4935-7292
Larisa G. Gagarina – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus), ORCID: 0000-0003-3774-5471
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia),
ORCID: 0000-0003-3105-029X
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Optolink LLC (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC “NIIME” (Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus),
ORCID: 0000-0002-3494-4881
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJSC Company
“Synopsys Armenia” (Yerevan, Armenia), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI
(Moscow, Russia)
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2022
© MIET, 2022
156
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(2)
Стр.6
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Andrey Y. Sazonov – PhD, Prof., University of Waterloo (Canada)
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Moldova),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Head of editorial staff Doronina I. M.
Chief editors Tikhonova A. V., Proskuryakova I. V.
Make-up Ryzhkov S. Yu., Ryzhkov A. Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET,
editorial office of the Journal “Proceedings of Universities. Electronics”.
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET.
Printery address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET.
Signed to print 14.04.2022. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 14,415. Number of copies 150. Order no. 4. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published for the following
groups of specialties:
05.11.00 Instrumentation, metrology and information-measuring devices and systems
05.13.00 Computer science, computer engineering and management
05.27.00 Electronics
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
Is the member of Crossref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue “Russian Press” LLC “Agency “Book-Service” – 38934.
The subscription index in catalogue “Periodicals. Newspapers and magazines”
LLC “Ural-Press Okrug” – 47570.
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(2)
157
Стр.7
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
CONTENTS
Technological processes and routes
Romashkin A. V., Polikarpov Yu. A., Levin D. D., Nevolin V. K. Transparent conductive electrode
based on carbon nanotubes formed by spray deposition on polymer P3HT:PCBM layer ......................... 159
Luchinin V. V., Panov M. F., Pavlova M. V., Rybka F. E. Optical control of the parameters of substrates
and epitaxial structures of silicon carbide ...................................................................................... 175
Integrated electronics elements
Komarov V. T. The simulation of microwave power amplifiers on the GaN transistors ........................ 187
Circuit engineering and design
Shchagin A. V., Nguyen Thanh Duong, Kyaw Soe Win. Comparative analysis of electric drives of
processing equipment ................................................................................................................................ 193
Matyukha V. A., Voloshchuk S. S., Mosin S. G. Development of a universal configurable integer
square root calculator based on FPGA ...................................................................................................... 205
Efanov D. V., Zueva M. V. Sum codes by arbitrary modulus in concurrent error-detection circuit implemented
by the Boolean complement method ........................................................................................ 218
Kostanyan H. T. Skew improvement method for digital delay lines ...................................................... 233
Micro- and nanosystem technology
Ye Ko Ko Aung, Simonov B. M., Timoshenkov S. P. Fatigue analysis and estimation of the number
of exposure cycles before failure of the sensitive element of the micromechanical capacitive accelerometer
..................................................................................................................................................... 240
Integrated radioelectronic devices
Magerramov R. V. Mathematical model of the phase-locked loop circuit for the ADC implementation ....... 248
Information-communication technologies
Petrov E. N., Portnov E. M. Investigation of the capabilities of recurrent neural networks for solving
the problem of classification of poorly structured information on the example of bibliographic data ...... 259
Dorogova E. G., Dorogov V. G., Mikitas A. V., Bain A. M., Marshalov V. N. Modeling of IT systems
with a managed service discipline in order to improve the query serving quality ............................ 268
Conferences
XI All-Russian scientific and technical conference «Problems of development of advanced
micro- and nanoelectronic systems» ............................................................................................. 2 cover page
Instructions for authors ........................................................................................................................... 275
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
158
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(2)
Стр.8