2016 УДК 621.3.049.779 ВЛИЯНИЕ НЕПАРАЛЛЕЛЬНОСТИ ЭЛЕКТРОДОВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ В.П. <...> Драгунов, В.Ю. Доржиев, Д.И. Лойко Новосибирский государственный технический университет При разработке и создании электростатических МЭМС возникает необходимость в определении электрической емкости и электростатических сил, действующих между различными частями конструкции. <...> В данной работе представлены результаты экспериментальных и теоретических исследований влияния непараллельности электродов на электрические емкости и силы в МЭМС с двухэлектродной и гребенчатой конструкцией электродов. <...> Для МЭМС с двухэлектродной конструкцией электродов приведены зависимости емкости от величины межэлектродного зазора, полученные экспериментально при разных углах наклона электродов, а также аппроксимационные формулы для расчета емкости с учетом краевых эффектов. <...> Рассчитаны зависимости емкости от величины межэлектродного зазора при различных углах наклона электродов. <...> Получено выражение для расчета электростатической силы, приходящейся на единицу длины электрода, двухэлектродного конденсатора с непараллельными электродами. <...> Найдено выражение для электростатической силы, приходящейся на единицу длины электрода у конденсатора с гребенчатой конструкцией электродов, при постоянном напряжении между электродами и малых углах наклонов электродов. <...> DOI: 10.17212/1727-2769-2016-3-54-64 Введение В настоящее время микросистемная техника стала одним из наиболее динамично развивающихся направлений мировой индустрии. <...> Необходимость достижения высоких технико-экономических показателей МЭМС-изделий ставит перед разработчиками комплекс новых актуальных задач, таких как учет физических свойств новых конструкционных материалов, изучение влияния технологических погрешностей и условий функционирования на характеристики МЭМС. <...> 2016 В.П. Драгунов, В.Ю. Доржиев, Д.И. Лойко ДОКЛАДЫ АН ВШ РФ июль–сентябрь ТЕХНИЧЕСКИЕ <...>