ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И МАРШРУТЫ TECHNOLOGICAL PROCESSES AND ROUTES УДК 621.382 DOI: 10.214151/1561-5405-2017-22-2-138-146 Зависимость механических напряжений в пленках нитрида кремния от режимов плазмохимического осаждения А. <...> Гусев1 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия 2ОАО «Ангстрем», г. Москва, Россия 3ФГУП «НИИ Физических проблем им. <...> Ф.В. Лукина», г. Москва, Россия novak-andrei@mail.ru Пленки плазмохимического нитрида кремния SiNx, получаемые из газов моносилана SiH4 и аммиака NH3, широко используются в микроэлектронике, микро- и наноэлектромеханических системах. <...> Для многих применений важными характеристиками являются остаточные механические напряжения и состав пленок. <...> Свойства пленок SiNx, в частности механические напряжения и состав, существенно зависят от условий получения: соотношения расходов реагирующих газов, состава газовой смеси, мощности и частоты генератора плазмы, температуры и давления при осаждении. <...> Несмотря на большой объем исследований, данные о зависимости свойств и состава пленок SiNx от условий получения не являются достаточно полными. <...> Изучено влияние отношения расходов реагирующих газов на механические напряжения и состав пленок плазмохимического нитрида кремния SiNx, получаемых из газовой смеси моносилана SiH4 и аммиака NH3 при использовании низкочастотной плазмы. <...> Установлено, что с ростом отношения расходов газов SiH4 к NH3 от 0,016 до 0,25 сжимающие механические напряжения уменьшаются на 31%, стехиометрический коэффициент уменьшается от 1,40 до 1,20, показатель преломления возрастает от 1,91 до 2,08, концентрация связей N–H уменьшается в 7,4 раз, концентрация связей Si–H возрастает в 8,7 раз, а концентрация атомов водорода убывает в 1,5 раза. <...> Результаты можно использовать для контролируемого получения пленок SiNx с такими заданными характеристиками, как остаточные механические напряжения, показатель преломления, стехиометрический коэффициент и концентрация водородсодержащих связей. <...> Ключевые слова <...>