Г. Громов1 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия 2НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия 3Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, г. Москва, Россия salvionn@gmail.com Уникальные свойства углеродных нанотрубок (УНТ) делают их перспективными для создания композитных электродных материалов на основе комбинации УНТ с оксидами переходных металлов. <...> С помощью спектроскопии комбинационного рассеяния исследовано влияние параметров функционализации вертикально ориентированных массивов УНТ в ВЧ-плазме смеси аргона и кислорода на их структурные характеристики. <...> При бульшем парциальном расходе аргона и низком общем расходе газов рабочей смеси определено влияние времени обработки на распределение по массиву УНТ оксида никеля, осаждаемого методом SILAR. <...> Результаты растровой электронной спектроскопии показали, что увеличение времени функционализации с 30 до 1200 с позволяет увеличить глубину покрытия поверхности УНТ слоем оксида никеля с 300 нм до 2,5 мкм. <...> Полученные композитные структуры могут быть использованы в качестве электрода суперконденсатора. <...> Для цитирования: Влияние функционализации углеродных нанотрубок в плазме на процесс формирования электродного композитного материала УНТ – оксид никеля / А.В. Алексеев, Е.А. Лебедев, И.М. Гаврилин и др. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 22 № 2 2017 Влияние функционализации углеродных нанотрубок в плазме. <...> Carbon Nanotubes Plasma Functionalization Effect on Formation Process of CNT – Nickel Oxide Composite Electrode Material A.V. <...> Gromov1 1National Research University of Electronic Technology, Moscow, Russia 2SMC «Technological Centre», Moscow, Russia 3Institute of Nanotechnologies of Microelectronics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia salvionn@gmail.com Unique properties of carbon nanotubes (CNTs) make them promising for creating composite electrode materials, based on the combination of CNTs with transition metals oxides. <...> The influence of the RF plasma functionalization on vertically aligned carbon nanotubes arrays structural characteristics has been studied using the combinational scattering spectroscopy. <...> At a higher partial argon consumption and <...>