Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 23, № 5, 2018
сентябрь – октябрь
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович, академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия)
Бархоткин Вячеслав Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия)
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр экспертизы»
(Москва, Россия)
Быков Дмитрий Васильевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский университет
«Высшая школа экономики» (Москва, Россия)
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь)
Горбацевич Александр Алексеевич – чл.-корр. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Грибов Борис Георгиевич – чл.-корр. РАН, д.хим.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Коноплев Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия)
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Кубарев Юрий Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., Фонд «Сколково», ООО «Центр плазменных
и вакуумных технологий» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь)
Максимов Иван Александрович – PhD, проф., Университет города Лунд (Швеция)
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения)
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия)
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада)
© “Известия вузов. Электроника”, 2018
© МИЭТ, 2018
Стр.3
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий микроэлектроники
РАН (Москва, Россия)
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия)
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф., Институт электронной
инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова)
Таиров Юрий Михайлович – д.т.н., проф., Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия)
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Усанов Дмитрий Александрович – д.физ.-мат.н., проф., Саратовский государственный
университет им. Н.Г. Чернышевского (Саратов, Россия)
Заведующая редакцией С.Г. Зверева
Редактор А.В. Тихонова
Научный редактор С.Г. Зверева
Корректор И.В. Проскурякова
Верстка А.Ю. Рыжков, С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 08.10.2018. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 12,09 усл.печ.л., 11,268 уч.-изд.л. Тираж 180 экз. Заказ № 5. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Является членом Cross Ref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге Агентства «Роспечать» – 47570
434
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2018 23(5)
Стр.4
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электроники
Неустроев С.А., Неустроев Н.С. Теоретическое определение диэлектрической проницаемости
кубического углерода ..................................................................................................................................... 439
Технологические процессы и маршруты
Вигдорович Е.Н. Исследование состава пара теллура статическим методом .................................. 446
Федотов С.Д., Соколов Е.М., Стаценко В.Н., Ромашкин А.В., Тимошенков С.П. Исследование
технологических режимов газофазного формирования начального слоя кремния
на сапфире ................................................................................................................................................. 454
Интегральные радиоэлектронные устройства
Баранов А.А., Сергеев В.А. Радиоволновой способ контроля неоднородности электрофизических
параметров диэлектриков с использованием сканирующей микрополосковой линии ............. 468
Садков В.Д., Фомина К.С., Пилькевич А.В.Поглощающие элементы на основе однородной резистивной
пленки для реализации широкого диапазона ослаблений мощности радиосигналов .... 477
Микро- и наносистемная техника
Панов А.П., Серов А.Н. Измерение скорости воздушного потока с использованием ультразвуковых
преобразователей ......................................................................................................................... 486
Информационно-коммуникационные технологии
Шариков А.И., Шарикова Е.М. ПЛИС-система выделения ключевых точек при обработке
изображений ............................................................................................................................................ 495
Гаврилов Д.А., Павлов А.В. Поточная аппаратная реализация алгоритма SURF........................... 502
Пастухов А.А., Прокофьев А.А. Алгоритм формирования обучающего множества и уточнения
характеристики нейрона сети типа многослойный персептрон .......................................................... 512
Краткие сообщения
Петросянц К.О., Попов Д.А. Моделирование эффекта саморазогрева КНИ МОП-транзистора
с различной конфигурацией скрытого оксида ...................................................................................... 521
Кузьминов И.В., Новожилов И.С., Лосев В.В. Алгоритм построения и оценки структуры коммутационных
блоков ПЛИС с заданным количеством связей ............................................................ 526
Тарасенко А.М. Выбор вида излучаемых сигналов радиотехнических средств на основании
анализа корреляционных свойств модулирующих функций .............................................................. 531
Конференции
6-я Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники
в микро- и наносистемной технике» ............................................................................... 2 стр. обложки
К сведению авторов .............................................................................................................................. 535
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2018 23(5)
435
Стр.5
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 23, No. 5, 2018
September – October
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia)
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Vyacheslav A. Barhotkin – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia)
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia)
Dmitri V. Bykov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia)
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Republic of Belarus)
Aleksandr A. Gorbatsevich – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia)
Boris G. Gribov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Chem.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia)
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., SMS «Optolink» (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Yuri V. Kubarev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., The Skolkovo Foundation, LLC «Center for
Plasma and Vacuum Technologies» (Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Republic of Belarus)
Ivan A. Maksimov - PhD, Prof., Lund University (Sweden)
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJS Company
«Sinopsis, Armenia» (Yerevan, Republic of Armenia)
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical Institute of the RAS
(Moscow, Russia)
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia)
Andrey Y. Sazonov - PhD, Prof., University of Waterloo (Canada)
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia)
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phis.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia)
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2018
© MIET, 2018
436
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2018 23(5)
Стр.6
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Republica Moldova)
Yury M. Tairov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Saint-Petersburg Electrotechnical University (LETI)
(St. Petersburg, Russia)
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia)
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Dmitry A. Usanov – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., National Research Saratov State University
(Saratov, Russia)
Head of editorial staff Zvereva S.G.
Chief editors Tikhonova A.V., Proskuryakova I.V.
Make-up Ryzhkov S.Yu., Ryzhkov A.Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET, editorial
office of the Journal «Proceedings of Universities. Electronics»
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Printery address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Signed to print 08.10.2018. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 12,09. Number of copies 180. Order no. 5. Free price.
The registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
Is the member of Cross Ref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue of Agency Rospechat – 47570
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2018 23(5)
437
Стр.7
CONTENTS
Electronics materials
Neoustroev S.A., Neoustroev N.S. Theoretical Determination of c-C Dielectric Permeability ................ 439
Technological processes and routes
Vigdorovich E.N. Study on Tellurium Vapor Composition by Static Method ........................................ 446
Fedotov S.D., Sokolov E.M., Statsenko V.N., Romashkin A.V., Timoshenkov S.P. Research of Silicon-on-Sapphire
Initial Layer Vapor-Phase Formation Techniques .......................................................... 454
Integrated radioelectronic devices
Baranov A.A., Sergeev V.A. Radio-Wave Method of Controlling Nonhomogeneity of Electrophysical
Parameters of Dielectrics Using a Scanning Microstrip Line ..................................................................... 468
Sadkov V.D., Fomina K.S., Pilkevich A.V. Absorbing Elements on the Basis of a Uniform Resistive
Film for Realization of Wide Range of Power Attenuations of Radio Signals ......................................... 477
Micro- and nanosystem technology
Panov A.P., Serov A.N. Measurements of Air Flow Velocity Using Ultrasonic Transducers ............... 486
Information-communication technologies
Sharikov A.I., Sharikova E.M. FPGA System of Image Key Points Detecting ..................................... 495
Gavrilov D.A., Pavlov A.V. Streaming Hardware Based Implementation of SURF Algorithm ...................... 502
Pastukhov A.A., Prokofyev A.A. Algorithm of a Representative Samples Formation and Calculation
of a Neuron Characteristics for Multilayer Perceptron .............................................................................. 512
Brief reports
Petrosyants K.O., Popov D.A. Simulation of Self-Heating Effect of MOSFET with Various Configuration
of Buried Oxide ............................................................................................................................... 521
Kuzminov I.V., Novozhilov I.S., Losev V.V. Algorithm for Constructing and Evaluating Structure of
FPGA Switching Blocks with a Specified Number of Connections .......................................................... 526
Tarasenko A.M. Signal Type Selection Based on Modulating Function Correlation Properties Analysis
for Radio Facilities ............................................................................................................................... 531
438
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2018 23(5)
Стр.8