НАНОМЕТРОЛОГИЯ 535-15:535.4:681.7.02-04:681.787 Метод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхности Д. <...> Н. Э. Баумана, Москва, Россия, e-mail: Denisov_DG@mail.ru 2 АО «Лыткаринский завод оптического стекла», Лыткарино, Московская обл., Россия Разработан и научно обоснован метод определения среднего квадратического отклонения высот поверхностных неоднородностей на основе алгоритма расч¸та спектральной плотности одномерной корреляционной функции в широком диапазоне пространственных частот. <...> Проанализированы методические погрешности алгоритма с использованием результатов экспериментальных исследований, провед¸нных на измерительном стенде в цеховых условиях. <...> Ключевые слова: высокоточный оптический контроль, характеристики профилей поверхностей, спектральная плотность корреляционной функции, динамическая интерферометрия, краевые эффекты. <...> Разработка высокоточных методов и оптико-электронной аппаратуры для метрологического обеспечения современных оптических технологий, позволяющих создавать перспективные крупногабаритные оптические детали, является одной из актуальных, активно развивающихся научно-технических задач. <...> Особый интерес представляют технологии производства и сопутствующий им оперативный высокоточный аттестационный контроль показателей качества (высотных статистических параметров профилей [111]) крупногабаритных изделий астрономической и лазерной оптики в режимах реального времени. <...> С целью создания и успешного развития этого направления в России необходимо иметь не только современную отечественную технологию производства крупногабаритных оптических элементов нового поколения, но и комплекс высокоточной оптико-электронной аппаратуры диагностики статистических показателей качества исследуемых изделий на базе перспективных методов и алгоритмов [13, 11]. <...> В настоящей работе рассмотрен оригинальный <...>