В. Ю. Кнеллеp УДК 621.3.049.76 НОВЫЕ ТЕНДЕНЦИИ В ТЕХНОЛОГИИ МЭМС-ДАТЧИКОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЙ В ЖЕСТКИХ ВНЕШНИХ УСЛОВИЯХ1 П. Ниева <...> (Канада) Сенсорные системы на основе технологий МЭМС и НЭМС, способные работать при высоких температурах, в агрессивных средах и/или под воздействием сильной радиации, весьма перспективны для применений в жестких внешних условиях. <...> В статье дан обзор последних достижений в области МЭМС- и НЭМС-датчиков для жестких условий с акцентом на материалы и устройства. <...> Применительно к таким устройствам рассматриваются широкозонные полупроводниковые материалы для высокотемпературных применений. <...> В качестве новой тенденции в области высокотемпературных применений рассмотрены микрооптоэлектромеханические системы (МОЭМС). <...> ВВЕДЕНИЕ Микро- и наноэлектомеханические системы (МЭМС и НЭМС) возникли как технология, объединяющая механические конструкции микро- и наноуровня с микроэлектроникой для применений, главным образом, в системах восприятия и осуществления воздействий. <...> Технология МЭМС на кремниевой основе позволила создать широкий спектр таких систем. <...> Основное преимущество кремниевой технологии — возможность интегра1 Patricia M. Nieva. <...> New Trends on MEMS Sensor Technology for Harsh Environment Applications // Sensors and Transducers Journal, Special Issue – October 2007. <...> Большое внимание уделяется развитию интегральных МЭМС и НЭМС с целью создания интеллектуальных устройств и систем. <...> Интеллектуальные МЭМС-датчики, способные работать внутри цилиндров при температурах около 400 °C в автомобильных и до 900 °C в газотурбинных двигателях, могли бы непрерывно контролировать качество сгорания в цилиндрах, что приводило бы к уменьшению выбросов и экономии топлива. <...> Из сказанного следует, что для уменьшения этих трудностей необходимы дальнейшие разработки на основе новых МЭМС- и НЭМС-материалов (включая такие новые функциональные слои, как пьезоэлектрические пленки) и технологий. <...> Для разработки датчиков, работающих в жестких условиях, весьма перспективны <...>