ФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ СПЕКТРОЭЛЛИПСОМЕТР “ЭЛЬФ” и диэлектрики, твердые и жидкие среды); исследования структуры материалов — состава, неравномерности пористости, фазового состава, степени кристалличности, наличия дефектов; анализа состояния поверхности и структуры тонких поверхностных слоев. <...> Эллипсометрия относится к поляризационно-оптическим методам исследования, при котором волновой вектор световой волны описывает в плоскости волнового фронта эллипс, называемый эллипсом поляризации. <...> Эллипсометрия изучает изменение формы эллипса поляризации световой волны при ее взаимодействии с образцом. <...> Примером эллипсометрических исследований может служить определение толщины слоев в многослойных тонкопленочных структурах. <...> Толщина слоев находится из экспериментально измеренных спектров эллипсометрических углов путем решения обратной задачи. <...> Прибор предназначен для: измерения толщин тонких пленок и толщин слоев в многослойных пленочных структурах (металлы, полупроводники и диэлектрики, твердые и жидкие пленки); измерения спектров оптических постоянных и диэлектрических свойств материалов в оптическом диапазоне (металлы, полупроводники 36 Основные технические характеристики прибора Диапазон длин волн, нм . <...> . 1.2 Прибор обеспечивает возможность построения пространственной карты любой из измеряемых характеристик. <...> Наличие опорного фотоприемника позволяет проводить фотометрические измерения. <...> Спектроэллипсометр не содержит движущихся поляризационных элементов, что увеличивает чувствительность и уменьшает время измерения. <...> Особенности конструкции позволяют снизить влияние фоновых засветок при работе со слабыми сигналами. <...> Используемый метод измерений с бинарной модуляцией Sensors & Systems · ¹ 5.2008 состояния поляризации повышает чувствительность прибора и снижает влияние шумов. <...> Прибор может найти применение в приборостроительных и материаловедческих предприятиях, научных лабораториях <...>