КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586.2 АНАЛИЗ ХАРАКТЕРИСТИК КОМПЕНСИРУЮЩИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ А. А. <...> Тыртычный, А. И. Скалон Описаны физические основы построения компенсирующих преобразователей (КП) микромеханических инерциальных датчиков. <...> Проведен сравнительный анализ электростатического, магнитоэлектрического и электромагнитного КП с подвижной пластиной одинаковых размеров и с одинаковым зазором между пластинами. <...> Ключевые слова: микромеханика, инерциальные датчики, акселерометр, датчик угловой скорости, датчик силы, компенсирующий преобразователь. <...> Привлекательными качествами микромеханических датчиков (МД) для измерения различных механических величин являются низкая стоимость, высокая надежность и предельно малые габариты, достигаемые при использовании групповых технологий микроэлектроники, а также совместимость механической части приборов и сервисной электроники. <...> Технические решения и концепция построения МД оказывают существенное влияние на выбор типов и конструкций элементов приборов. <...> В частности, минимизацию массогабаритных характеристик обеспечивают планарные технологии. <...> В качестве конструкционных материалов широко применяются кварц, пьезокерамика, кремний и другие полупроводниковые материалы [1]. <...> МД с электростатическими преобразователями (ЭП), созданные в рамках планарных технологий, представляют собой многослойную конструкцию из стекла, металлических пленок и пластин монокристаллического кремния. <...> Неподвижные пластины ЭП выполнены напылением металла на стекле, а подвижная — анизотропным травлением монокристаллического кремния. <...> Кроме этого, в пластине кремния формируются перемычки упругого элемента и емкостный зазор [2]. <...> Электростатические элементы МД — датчик положения (ДП) и компенсирующий преобразователь (КП) — обладают рядом особенностей: малым значением воспроизводимой силы <...>