Автопараметрический датчик магнитной индукции // Датчики и системы. <...> Олег Леонидович Сокол-Кутыловский — д-р техн. наук, ст. научн. сотрудник; E-mail: s-k52@mail.ru Артур Ильясович Сарвартинов — инженер лаборатории электрометрии. <...> E-mail: authur82@mail.ru УДК 681.586.7 ИНЕРЦИОННЫЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРИВОД С МАГНИТОИНДУКЦИОННЫМ ДАТЧИКОМ СКОРОСТИ А. М. <...> Липанов, П. В. Гуляев, Е. Ю. Шелковников, А. В. Тюриков Дано описание устройства магнитоиндукционного датчика скорости линейных перемещений, встроенного в инерционный пьезоэлектрический привод. <...> Ключевые слова: инерционный пьезопривод, магнитоиндукционный датчик скорости, схема замещения, кинематическая пара трения. <...> Инерционные пьезоэлектрические приводы находят широкое применение для высокоточного позиционирования образцов и зондов [1—3]. <...> Наибольшей точностью перемещений обладают инерционные пьезоприводы вращательно-поступательного типа, позволяющие осуществлять высокоточные угловые перемещения и преобразовывать их в сверхмалые (единицы нанометров) линейные перемещения [4—6]. <...> Во-первых, для достижения оптимальных характеристик шагового перемещения привод следует (по возможности) подстраивать под конкретные тип и величину нагрузки. <...> Во-вторых, при продолжительном неподвижном контакте кинематических элементов привода увеличивается коэффициент трения покоя [7], что при запуске может привести к необходимости по52 вышения амплитуды управляющих сигналов. <...> Использование для этих целей готовых датчиков не всегда возможно из-за конструктивных ограничений. <...> Поэтому задача разработки приводов позиционирования, совмещенных с датчиками перемещения или скорости, является весьма актуальной. <...> Конструкция типичного инерционного пьезоэлектрического привода вращательно-поступательного типа (рис. <...> 1) включает в себя безлюфтовую пару “винт 1 — гайка 2”, пьезоэлементы 3 (пьезопластины), инерционный элемент 4 и крепежный элемент 5. <...> На электроды пьезоэлементов 3 подаетSensors & Systems <...>