1 Ca Ce+ +()/C11 Полученные механические и регулировочные характеристики пьезоактюаторов с параллельным и кодовым управлением позволяют рассчитывать статические режимы работы простых и многослойных пьезоактюаторов в зависимости от внешней нагрузки в нано- и микроманипуляторах и их физических и геометрических параметров. <...> Некоторые физико-механические проблемы пьезоэлектрических актюаторов и области их применения // Нанои микросистемная техника. <...> Пьезопреобразователи для приводов микроперемещений // Приборы и системы управления. <...> Исследование и расчет механических и регулировочных характеристик составного пьезодвигателя наноперемещений // Датчики и системы. <...> Виноградов, Е. В. Матвеев Приведены результаты исследования напряженно-деформированного состояния трубчатых пьезосканеров с применением метода конечных элементов и аналитических методов теории упругости. <...> Оценено влияние геометрических параметров активных элементов на коэффициент преобразования пьезосканера. <...> Представлена аналитическая методика моделирования трубчатых сканеров с многослойной структурой и с произвольным количеством секторов металлизации. <...> Разработана математическая модель пьезосканера с пятью степенями свободы, осуществляющего плоскопараллельное перемещение зонда вдоль поверхности образца, и предложены ее оптимальные параметры. <...> Ключевые слова: пьезоэлектрический сканер, моделирование, метод конечных элементов, сканирующий туннельный микроскоп. <...> ВВЕДЕНИЕ Пьезоэлектрические элементы трубчатой формы широко используются в качестве приводов в различных устройствах исследовательского и технологического оборудования электронной техники: в пьезо12 электрических сканерах зондовых микроскопов, пьезодвигателях, вибрационных гироскопах, приводах микророботов и т. п. <...> В сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) пьезоэлектрические трубки применяются для точSensors & Systems · ¹ 12.2012 ной ориентации столика с исследуемым <...>