Национальному исследовательскому ядерному университету МИФИ — 70 лет УДК 621.3.049.776.41 ФОРМИРОВАНИЕ СЕЛЕКТИВНЫХ ОТКЛИКОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ДАТЧИКА НА МЕТАН, ВОДОРОД И МОНООКСИД УГЛЕРОДА В ВОЗДУХЕ Н. Н. <...> Самотаев, Б. И. Подлепецкий, А. А. Васильев, А. В. Писляков, С. А. Соловьев, К. Ю. Облов, Д. В. Сушко Представлены результаты селективного измерения концентрации СН4/Н2/СО газов в воздухе с помощью толстопленочного полупроводникового датчика на основе диоксида олова, функционирующего в режиме модуляции температуры. <...> Обсуждаются возможные физические и химические механизмы формирования селективных откликов датчика на СН4, Н2 и СО в присутствии воздушной атмосферы. <...> ВВЕДЕНИЕ Полупроводниковые датчики на основе окислов переходных металлов применяются для измерения концентраций газов более 40 лет. <...> Наряду с дискретными газочувствительными датчиками современные технологии позволяют создавать интегральные датчики на основе металлооксидных пленок с улучшенными метрологическими и эксплуатационными характеристиками [1]. <...> Наиболее распространенными среди них являются датчики с пленками диоксида олова (SnO2). <...> Принцип работы таких датчиков основан на модуляции проводимости за счет изменения объемной составляющей приповерхностного заряда металлооксидного полупроводника в присутствии восстановительных или окислительных газообразных соединений в воздухе. <...> Физико-химические основы взаимодействия всех газов восстановителей с поверхностью SnO2 схожи — в их присутствии проводимость чувствительного слоя увеличивается. <...> Поэтому, несмотря на многолетний опыт разработок, исследований и применений датчиков на основе SnO2, до сих пор остается нерешенной полностью проблема обеспечения избирательной чувствительности (селективности) таких датчиков к различным типам газов [2]. <...> Известны разные методы повышения селективности металлооксидных датчиков: подбор оптимальной рабочей температуры; применение различных <...>