УДК 621.3.049.77:62-714 МЕТОДИКА ОЦЕНИВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА “ОБРАЩЕННОЙ” СХЕМЫ Е. Э. <...> Получены значения мощностей (РΣ = 64,45•10–3 Вт), рассеиваемых радиатором, приведена его тепловая характеристика. <...> В статье кратко описана разработанная методика расчета, позволяющая провести оценку параметров теплопроводящих радиаторов для микромеханических приборов различных конструкций. <...> Приведен пример расчета радиатора Ключевые слова: тепловой поток, рассеиваемая мощность, радиатор, температура, методика, тепловая проводимость, теплообмен. <...> Микромеханические датчики, в частности, микромеханические акселерометры (ММА), широко применяются в различных системах управления и контроля. <...> Примерами могут служить системы управления беспилотных летательных аппаратов, высокоточное оружие, автомобилестроение и др. <...> . В силу традиционно используемых технологий современные ММА имеют инерционные массы, закрепленные на торсионах, и электростатические преобразователи перемещения и силы [1]. <...> Достаточно новыми являются конструкции ММА, в которых использованы компенсационные преобразователи магнитоэлектрического типа с плоской катушкой, размещенной на инерционной массе, и постоянным магнитом на корпусе [2]. <...> Однако к недостатку таких конструкций следует отнести необходимость подведения тока через торсионы к плоским катушкам. <...> Попытка преодолеть указанный недостаток привела к разработке принципиально новой для микромеханических приборов конструктивной схемы, в которой компенсирующий преобразователь является “обращенным”, т. е. с магнитом на подвижной части и неподвижными плоскими катушками (токопроводящими дорожками), напыленными на основании и крышке прибора. <...> 1 схематично представлен ММА “обращенной” схемы, где показаны крышка с полюсными наконечниками 1, на которые нанесен слой изолятора 2, плоская катушка 3, инерционная масса 4, выполненная из кремния <...>