132–137 УДК 541.16 ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ СЛОЕВ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК НА АЛЮМИНИЕВУЮ ФОЛЬГУ © 2017 г. А. Н. Редькин*, В. А. Кипин, Д. М. Седловец, М. А. Князев Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Россия, 142432 Черноголовка, Московская обл., ул. академика Осипьяна, 6 *e-mail: arcadii@iptm.ru Поступила в редакцию 29.03.206 г. Разработана оригинальная методика прямого газофазного осаждения слоев углеродных нанотрубок (УНТ) на алюминиевую фольгу. <...> Показано, что поверхность фольги приобретает каталитические свойства после выдерживания в водном растворе нитрата никеля в течение определенного времени. <...> Для осаждения УНТ использовался метод каталитического пиролиза паров этанола. <...> Полученные гибридные материалы представляют собой алюминиевую фольгу, покрытую с обеих сторон слоями “углеродной ваты” из УНТ. <...> Осажденные слои отличаются хорошей адгезией к алюминиевой подложке, позволяющей деформировать ее без отслаивания слоя УНТ. <...> Ключевые слова: Углеродные нанотрубки, каталитический пиролиз, адгезия DOI: 10.7868/S0002337X17020105 ВВЕДЕНИЕ Среди многочисленных потенциальных областей применения углеродных нанотрубок (УНТ) в последнее время значительный интерес исследователей привлекает возможность их использования в качестве материала для новых поколений электрических конденсаторов [1–3]. <...> Одним из вариантов такого использования является формирование электродов конденсатора непосредственного из объемного УНТ-материала [4, 5]. <...> Для уменьшения внутреннего сопротивления было предложено использовать металлические электроды, покрытые слоем УНТ. <...> Очевидно, что наилучшая адгезия и контакт УНТ может быть реализован в случае непосредственного их выращивания на поверхности электродов. <...> Для этих целей были разработаны методики прямого газофазного осаждения слоев УНТ на поверхность никелевой фольги [6], сплава Inconel 600 (на основе Ni) [7], танталовой фольги [8] и других металлов. <...> Вместе с тем <...>