83–90 ТЕХНОЛОГИИ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.382 ВСТРАИВАЕМЫЙ В ТЕХНОЛОГИЮ ПРОЦЕСС CVD-РОСТА УНТ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КАТАЛИТИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК Ct–Me–N–O © 2017 г. Д. <...> Ф.В. Лукина”, г. Зеленоград, Россия *E-mail: gromadima@gmail.com **E-mail: bulyar2954@mail.ru Поступила в редакцию 04.07.2016 г. Исследован процесс формирования массивов углеродных нанотрубок на каталитических сплавах Ct–Me–N с низким содержанием никеля (10–20 ат. %) методом химического осаждения из газовой фазы, где Ct – каталитический металл из группы Ni, Co, Fe, Pd; Me – переходный металл IV– VII группы Периодической таблицы элементов. <...> Показано, что УНТ эффективно растут, если сплав содержит Ti, V, Cr, Zr, Hf, Nb, Ta. <...> Добавление азота и кислорода в состав сплава способствует образованию оксинитридов, выдавливанию катализатора и образованию его кластеров на поверхности. <...> Замена металлов в сплаве влияет на диаметр УНТ. <...> При этом для роста УНТ могут использоваться пленки сплава различной толщины (10–500 нм), что обуславливает хорошую однородность и воспроизводимость процесса. <...> Рост УНТ не наблюдался, если сплав содержал W, Re. <...> DOI: 10.7868/S054412691702003X ВВЕДЕНИЕ Углеродные нанотрубки, открытые Ииджимой почти 25 лет назад [1], в настоящее время попрежнему привлекают большое внимание ученых и остаются одним из перспективных наноматериалов. <...> Уникальная структура углеродных нанотрубок обуславливает их особенные механические, физические и электрические свойства в сочетании с их химической инертностью. <...> Среди существующих методов формирования УНТ для технологии микроэлектроники наиболее технологически привлекательным является метод химического осаждения из газовой фазы (CVD), в котором углеводороды термически и под воздействием плазмы (PECVD) разлагаются в присутствии металлического катализатора. <...> В данном случае рост УНТ имеет место на локализованных областях поверхности твердой фазы и при сравнительно низких температурах, особенно в случае стимуляции дан83 , А. <...> Кицюк2, 3 , , 1Национальный исследовательский <...>