85–88 УДК 537.533.2 ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННЫЕ ЗАВИСИМОСТИ РЕНТГЕНОВСКОЙ ФОТОЭМИССИИ ЭЛЕКТРОНОВ ИМПЛАНТИРОВАННОГО КРЕМНИЯ © 2017 г. И. А. Зельцер, Е. Н. Моос*, О. В. Савушкин Рязанский государственный университет, 390000 Рязань, Россия *E-mail: e_moos@mail.ru Поступила в редакцию 04.04.2016 г. Рассмотрена возможность интерпретации вторичного электронного энергетического спектров и регистрации рентгеновской фотоэмиссии монокристаллических образцов кремния. <...> Обнаруженные смещения экстремума энергетического спектра, его высоты и форма энергетического распределения в целом для различных типов образцов Si после имплантации и отжига указывают на степень упорядоченности атомов поверхности. <...> Ключевые слова: энергетические спектры, эмиссия вторичных электронов, модель колебаний Фриделя. <...> DOI: 10.7868/S0207352816120180 ВВЕДЕНИЕ Проблема энергетических зависимостей вторично эмиссионных процессов представляет собой до настоящего времени важную в научном и практическом плане задачу поверхности твердого тела и ее диагностики корпускулярными зондами [1, 2]. <...> Надежная интерпретация энергетических спектров эмиссии вторичных электронов требует выполнения ряда требований по монокинетичности возбуждающего зонда и разрешающей способности энергоанализатора аналитического сигнала электронов, эмитированных с поверхности образца [1–3]. <...> Кардинальным решением, по мнению авторов представляемой здесь работы, в первой части сделанного замечания является применение в качестве зонда рентгеновского излучения, прошедшего многократную последовательную монохроматизацию, например, посредством брегговского отражения на монокристаллах. <...> Второе замечание устраняется применением анализатора типа сферического зеркала с идеальной угловой фокусировкой, ось которого совмещена с нормалью к поверхности исследуемого объекта, а фокус совмещен с областью рентгеновского дифракционного отражения. <...> В этом случае проще гарантировать наименьшие искажения формы <...>