74–78 УДК 548.74 ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ АЛМАЗА МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОБРАТНО РАССЕЯННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ © 2017 г. Е. <...> Тарелкин1, 2 *E-mail: golavl.itachi@gmail.com Поступила в редакцию 04.07.2016 г. Метод дифракции обратно рассеянных электронов использован для определения влияния механической полировки на состояние поверхности двухслойной структуры алмаза. <...> Установлено, что процесс полировки не приводит к существенной деградации поверхности, а толщина аморфного слоя, сформированного в результате полировки, не превышает нескольких атомных слоев. <...> DOI: 10.7868/S0207352817010140 ВВЕДЕНИЕ Алмаз является перспективным материалом для различных применений, в том числе для создания электронных приборов, биологических сенсоров, спектрометров излучения [1–4]. <...> Как и в случае, повсеместно используемых кристаллов кремния, кварца и сапфира, существует необходимость в совершенствовании методов обработки пластин алмаза для удаления нарушенных слоев с поверхности и обеспечения ее низкой шероховатости. <...> Последний метод получил наибольшее распространение благодаря отсутствию в процессе обработки высоких температур и химических реактивов, тогда как другие методы приводят к более интенсивному образованию дефектов вследствие химического воздействия плазменной среды [8], а также процессов переохлаждения [9] и ионной бомбардировки [10, 11]. <...> Механическая полировка давно используется для обработки широкого круга материалов для современных приложений электроники и оптики, в том числе для керамик и металлических 74 сплавов. <...> В работе [13] были исследованы процессы разрыва связей на поверхности алмаза и подтверждена целесообразность ее пассивации в результате воздействия полирующих частиц, что в конечном итоге может приводить к образованию аморфного поверхностного слоя. <...> Было показано, что частицы, отделяющиеся от полируемой поверхности алмаза, обладают аморфной структурой [14]. <...> Известно, что процесс полировки <...>