Н.И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия *E-mail: chkhalo@ipmras.ru Поступила в редакцию 28.04.2016 г. Благодаря современным успехам в области напыления многослойных зеркал и технологии изготовления сверхгладких и сверхточных подложек для зеркал появилась реальная возможность использовать традиционные оптические методы в диапазонах мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения. <...> Представлены основные направления в области многослойной рентгеновской оптики, развиваемые в ИФМ РАН, и рассмотрены аспекты ее применения в науке и технике. <...> Обсуждаются основные проблемы, возникающие при изготовлении многослойных интерференционных структур для диапазонов мягкого рентгена и экстремального ультрафиолета. <...> Ключевые слова: рентгеновская оптика, диапазоны мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения, многослойные интерференционные структуры, свободновисящие пленки, кластерные пучки. <...> Торопов1 , 6 АХСАХАЛЯН и др. ничения касаются низкой геометрической и числовой апертуры (NA < 0.1), узкого рабочего спектрального диапазона (λ < 3–4 нм при условии высокого разрешения), низкой дифракционной эффективности (на уровне 10%) и значительных хроматических аберраций (требуется монохроматизация пробного пучка на уровне λ/δλ > 500). <...> Числовая апертура может быть увеличена в несколько раз, рабочий диапазон расширен до ЭУФ-области, а величина сигнала повышена на несколько порядков при использовании многослойных зеркал нормального падения для построения изображений [7]. <...> С точки зрения оптики ключевые проблемы, которые должны быть решены для внедрения этого метода в лабораторную практику, следующие: создание подложек для многослойных зеркал, обеспечивающих дифракционное качество изображений в МР- и ЭУФ-диапазонах; существенное повышение коэффициентов отражения многослойных интерференционных структур, особенно в “углеродном” и “водном” окнах прозрачности. <...> В частности <...>